IE200M 硅片檢測(cè)顯微鏡

硅片檢測(cè)顯微鏡

高精度粗微動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu)

采用底手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，左右側(cè)均可調(diào)節(jié)，微調(diào)精度高，手動(dòng)調(diào)節(jié)簡(jiǎn)單方便，用戶(hù)能夠輕松得到清晰舒適的圖像。粗調(diào)行程為38mm，微調(diào)精度0.002。

大尺寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)

采用180×155mm的大尺寸平臺(tái)，右手位設(shè)置，符合常規(guī)人群操作習(xí)慣。用戶(hù)操作過(guò)程中，便于調(diào)焦機(jī)構(gòu)與平臺(tái)移動(dòng)的操作切換，為用戶(hù)提供更加高效的工作環(huán)境。

落射柯拉照明系統(tǒng)

采用180×155mm的大尺寸平臺(tái)，右手位設(shè)置，符合常規(guī)人群操作習(xí)慣。用戶(hù)操作過(guò)程中，便于調(diào)焦機(jī)構(gòu)與平臺(tái)移動(dòng)的操作切換，為用戶(hù)提供更加高效的工作環(huán)境。

硅片檢測(cè)顯微鏡參數(shù)

光學(xué)系統(tǒng)

有限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng)

觀察筒

45°傾斜，三目觀察筒，瞳距調(diào)節(jié)范圍:54-75mm，分光比：80:20

目鏡

高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/18mm，可帶測(cè)微尺

高眼點(diǎn)大視野目鏡WF15X/13mm，可帶測(cè)微尺

高眼點(diǎn)大視野目鏡WF20X/10mm，可帶測(cè)微尺

物鏡

長(zhǎng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡（5X、10X、20X、50X 、100X）

轉(zhuǎn)換器

內(nèi)定位四孔轉(zhuǎn)換器

內(nèi)定位五孔轉(zhuǎn)換器

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，粗動(dòng)每轉(zhuǎn)行程38 mm；微調(diào)精度0.02mm

載物臺(tái)

三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，面積180mmX155mm，右手低手位控制，行程：75mm×40mm

落射照明系統(tǒng)

落射式柯拉照明系統(tǒng)，帶可變孔徑光欄和中心可調(diào)視場(chǎng)光欄，自適應(yīng)寬電壓100V-240V，單顆5W 暖色LED燈，光強(qiáng)連續(xù)可調(diào)

落射式柯拉照明系統(tǒng)，帶可變孔徑光欄和中心可調(diào)視場(chǎng)光欄，自適應(yīng)寬電壓100V-240V，6V30W鹵素?zé)簦鈴?qiáng)連續(xù)可調(diào)

攝影攝像

0.5X/1X攝像接筒，C型接口，可調(diào)焦

其他

起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板；濾色片組；高精度測(cè)微尺