BD-4 奕葉探針臺(tái)BD系列
- 公司名稱 北京銳克天成科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) BD-4
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2022/3/1 10:12:54
- 訪問(wèn)次數(shù) 1236
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,交通 | 自動(dòng)化度 | 全自動(dòng) |
鍍金真空吸附卡盤 | 對(duì)應(yīng)可選4"產(chǎn)品 |
奕葉探針臺(tái)BD系列
一、顯微鏡操控規(guī)格:
l 在探針臺(tái)右側(cè)有大搖桿,提起90度后,可以使顯微鏡快速傾仰抬起,方便在測(cè)試時(shí)更換物鏡鏡頭。
l 顯微鏡后側(cè)有X/Y軸調(diào)節(jié)小搖輪,可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍2"X2",精度1μm。
l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕,粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便調(diào)焦,使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm,移動(dòng)精度1μm。
二、臺(tái)面規(guī)格:
l 探針臺(tái)臺(tái)面平整度:5μm
l 探針臺(tái)左側(cè)有搖杠可以控制臺(tái)面快速上下升降6mm。在探針臺(tái)加裝探針卡點(diǎn)測(cè)wafer時(shí)方便對(duì)die的重選擇
l 探針臺(tái)右上方有轉(zhuǎn)輪搖桿,搖動(dòng)時(shí)可使臺(tái)面線性上下升降,升降范圍25mm,精度1μm。在探針臺(tái)加裝探針卡點(diǎn)測(cè)wafer時(shí)方便對(duì)die的復(fù)位
三、卡盤(載物臺(tái),即圖中的chuck)規(guī)格:
l 6" 卡盤,卡盤平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,帶真空吸附孔,中心孔徑250μm-1mm(可根據(jù)客戶需求定制孔徑大小),小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm,能夠吸住尺寸為6"X6"
l 卡盤可360度旋轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),微調(diào)精度為0.1度,帶角度鎖定旋
l 卡盤X,Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動(dòng),移動(dòng)范圍為6"X6",移動(dòng)精度為1μm,為方便點(diǎn)測(cè)的穩(wěn)定性,帶有鎖住功能。如果點(diǎn)測(cè)6"wafer的時(shí)候,可以6"wafer的每一點(diǎn)都能夠點(diǎn)測(cè)到
四、總體規(guī)格:
l 重量:50kg(含顯微鏡)
l 尺寸:590mm寬*500mm長(zhǎng)*700mm高(含顯微鏡)
l 優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計(jì),便于工程師長(zhǎng)時(shí)間舒適的操作
五、性能
l 鍍金真空吸附卡盤: 對(duì)應(yīng)可選4" ,6",8",12"產(chǎn)品
l 大旋鈕移動(dòng)卡盤臺(tái),X-Y方向行程:6"-6"
l 卡盤快速拉出裝置便于放置/拿去樣品
l 線性無(wú)回差調(diào)節(jié)
l 臺(tái)面快速升/降行程:6mm,精調(diào)升/降行程:25mm
l 樣品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"
l 卡盤平整度: 10um
l 卡盤旋轉(zhuǎn)角度:0~360°
l Chuck Theta: ±15
l 大旋鈕滑臺(tái)X-Y方向精度: 1um
l 臺(tái)面上/下升降搖桿/旋鈕
l 顯微鏡傾仰裝置
六、附件
l 顯微鏡傾仰裝置
l 射頻測(cè)試探頭/電纜
l 有源探頭
l 低電流/電容測(cè)試
l 高壓測(cè)試
l 激光修復(fù)
l CCD/數(shù)字相機(jī),USB接口
l 探針卡/封裝/PCB板夾具
l 加熱裝置
l 防震桌
l 屏蔽箱
l 顯微鏡暗場(chǎng)/Normarski 檢測(cè)