NX2000 日立FIB-SEM三束系統(tǒng)
- 公司名稱 北京宣毅科技有限公司
- 品牌 Hitachi/日立
- 型號(hào) NX2000
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2023/6/20 11:07:07
- 訪問(wèn)次數(shù) 1793
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主營(yíng)燃料電池測(cè)試系統(tǒng),旋轉(zhuǎn)環(huán)盤電極、氫標(biāo)準(zhǔn)電極,氣體擴(kuò)散電極,高電阻電壓計(jì)、零歐電流計(jì)、電解池、法拉第屏蔽箱等與電化學(xué)相關(guān)的設(shè)備及配件, 并且為客戶提供完整的電化學(xué)解決方案,針對(duì)特殊應(yīng)用提供量身定制的非標(biāo)設(shè)備!
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),農(nóng)業(yè),能源 |
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日立FIB-SEM三束系統(tǒng)追求的TEM樣品制備工具
在設(shè)備及高性能納米材料的評(píng)價(jià)和分析領(lǐng)域,F(xiàn)IB-SEM已成為*的工具。
近來(lái),目標(biāo)觀察物更趨微細(xì)化;更薄,更低損傷樣品的制備需求更進(jìn)一步凸顯。
日立高新公司,整合了高性能FIB技術(shù)和高分辨SEM技術(shù),再加上加工方向控制技術(shù)以及Triple Beam®*1(選配)技術(shù),推出了新一代產(chǎn)品NX2000
運(yùn)用高對(duì)比度,實(shí)時(shí)SEM觀察和加工終點(diǎn)檢測(cè)功能,可制備厚度小于20 nm的超薄樣品
FIB加工時(shí)的實(shí)時(shí)SEM觀察*2例
樣品:NAND閃存
加速電壓:1 kV
FOV:0.6 µm
加工方向控制技術(shù)(Micro-sampling®*3系統(tǒng)(選配)+高精度/高速樣品臺(tái)*)對(duì)于抑制窗簾效應(yīng)的產(chǎn)生,以及制作厚度均一的薄膜類樣品給予厚望。
加工方向控制
常規(guī)加工時(shí)
Triple Beam®*1(選配)可提高加工效率,并能使消除FIB損傷自動(dòng)化
EB:Electron Beam(電子束)
FIB:Focused Ion Beam(聚焦離子束)
Ar:Ar ion beam(Ar離子束)
項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
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FIB鏡筒 | |
分辨率 | 4 nm @ 30 kV、60 nm @ 2 kV |
加速電壓 | 0.5~30 kV |
束流 | 0.05 pA ~ 100 nA |
FE-SEM鏡筒 | |
分辨率 | 2.8 nm @ 5 kV、3.5 nm @ 1 kV |
加速電壓 | 0.5~30 kV |
電子槍 | 冷場(chǎng)場(chǎng)發(fā)射型 |
探測(cè)器 | |
標(biāo)準(zhǔn)検出器 | In-lens 二次電子探測(cè)器/樣品室二次電子探測(cè)器/背散射電子探測(cè)器 |
樣品臺(tái) | X:0 ~ 205 mm Y:0 ~ 205 mm Z:0 ~ 10 mm R:0 ~ 360°連續(xù) T:-5 ~ 60° |