美國Bristol光學(xué)測厚儀

Bristol Instruments提供了一系列測厚儀產(chǎn)品，可方便地測量厚度，并具有高的測量精度以及重復(fù)性，以適用于大部分的應(yīng)用需求。重要的是，這些產(chǎn)品采用了一種有效的技術(shù)，即使用非接觸式光學(xué)探針進(jìn)行無損檢測，同時(shí)這種技術(shù)還可以同時(shí)測量多層膜的厚度。

　　產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　可測量硬材料和軟材料，并且不會(huì)造成損壞或變形

　　用于定位測量位置的可見光束

　　同時(shí)測量多達(dá)31層

　　測量光程： 12mm/ 40mm/80mm

　　測量精度： ±0.1 μm/±1μm

　　使用內(nèi)置的固有長度標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行連續(xù)校準(zhǔn)

　　測量置信水平≥99.7%

　　可追溯至NIST標(biāo)準(zhǔn)

　　測量頻率高達(dá)20赫茲

　　使用USB或以太網(wǎng)進(jìn)行PC通訊

　　提供基于Windows的光學(xué)測量軟件，用于設(shè)置測量參數(shù)和輸出測量數(shù)據(jù)

　　使用LabVIEW、NET或自定義編程進(jìn)行自動(dòng)數(shù)據(jù)報(bào)告，無需專用PC

　　軟件測量界面：

　　應(yīng)用領(lǐng)域：

　　光學(xué)元件和透鏡組件

　　可測量單個(gè)鏡片以及鏡頭組包括空氣間隔

　　隱形眼鏡和晶狀體

　　測量中心厚度、矢高和群折射率

　　導(dǎo)管窺鏡

　　可同時(shí)測量壁厚、內(nèi)徑和外徑，管壁厚度、管頸和管錐的壁厚

　　LCD, LED, OLED 和AMOLED顯示屏

　　可測量總厚度和各層厚度，包括LOCA（液體光學(xué)透明粘合劑）層

　　半導(dǎo)體

　　硅/砷化鎵晶片

　　玻璃拋光

　　測量化學(xué)腐蝕前后的厚度或拋光工藝，使玻璃板更薄、更輕。

　　Optional:

　　Lensthick 非接觸式光學(xué)測厚儀

　　產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　LensThick集成了Bristol非接觸式光學(xué)測厚儀，系統(tǒng)集成化程度較高，增加了電動(dòng)升降臺(tái)和傾斜平移一體調(diào)節(jié)臺(tái)，將測厚儀主機(jī)和高性能工控機(jī)集成在定制機(jī)柜里，并配備了高清顯示器，此外還開發(fā)了全中文人機(jī)交互軟件，軟件可實(shí)時(shí)顯示被測試產(chǎn)品的厚度和干涉信號(hào)，以便實(shí)時(shí)調(diào)整。軟件支持自動(dòng)峰值模式，使用操作員創(chuàng)建的樣品設(shè)計(jì)文件，可以定義32個(gè)反射面（31層）的預(yù)期峰值位置，可自動(dòng)識(shí)別在的閾度內(nèi)接近預(yù)期峰值位置的峰值，從而計(jì)算并輸出每層的厚度。此外，軟件還帶有判據(jù)功能，即超出設(shè)計(jì)值的公差范圍，數(shù)據(jù)顯示為紅色。這些功能對(duì)質(zhì)量控制是非?？焖儆行У摹＼浖€可根據(jù)用戶材料色散方程系數(shù)，自動(dòng)計(jì)算出材料的群折射率并保存。針對(duì)同其它設(shè)備和產(chǎn)線集成，軟件還可通過TCP/IP形式將實(shí)時(shí)測量結(jié)果發(fā)送給其它設(shè)備。

　　LensThick ATW/ATS 系列全自動(dòng)光學(xué)測厚儀

　　設(shè)備特點(diǎn)：

　　LensThick ATW配備晶圓測試模組，LensThick ATS配備單鏡片測試模組；

　　配備非接觸式光學(xué)測厚儀，測量精度高，速度快，且不會(huì)對(duì)樣品造成損傷；

　　采用大理石組合結(jié)構(gòu)，穩(wěn)定性高

　　XY平臺(tái)采用直線電機(jī)及高精度光柵尺，重復(fù)定位精度±0.001mm,位置精度±0.001mm；

　　采用CCD圖像識(shí)別定位，運(yùn)用高精度算法，準(zhǔn)確可靠；

　　測量時(shí)通過CCD圖像校正，保證測量位置準(zhǔn)確；

　　主要配置/設(shè)備關(guān)鍵部件：

　　非接觸式光學(xué)測厚儀

　　XYR平臺(tái)參數(shù)：

　　平面度：±0.005mm

　　直線度：±0.005mm

　　重復(fù)定位精度：±0.001mm

　　位置精度：±0.001mm

　　視覺校正相機(jī)：

　　2000萬像素

　　低噪聲，高精度