| 功能 | 電性測量、納米操縱 |
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PicoFemto系列掃描電子顯微鏡納米探針臺基于壓電陶瓷驅(qū)動技術(shù)，運動無需潤滑，兼容掃描電鏡真空環(huán)境，并可在多種溫度范圍內(nèi)工作；步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。
三軸探針臺由XYZ三個單軸運動臺組合而成。一個SEM腔體內(nèi)可安裝多個三軸探針臺。平臺上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現(xiàn)微納操縱和測量的目的。
產(chǎn)品選型
納米探針臺
澤攸科技提供適配Thermofisher/FEI、JEOL、ZEISS、Tescan及ZEPTOOLS等多種掃描電子顯微鏡型號的納米探針臺，支持定制。
三軸探針臺由XYZ三個單軸運動臺組合而成。一個SEM腔體內(nèi)可安裝多個三軸探針臺。平臺上可安裝電學探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現(xiàn)微納操縱和測量的目的。
技術(shù)指標（單個三軸探針臺）
| 運動指標 | 尺寸參數(shù) |
| 1. X軸移動行程：±10mm； | 1. 長/寬/高: 48.6mm/33.2mm/43.6mm |
| 2. Y軸移動行程：±10mm； | 2. 重量：225g |
| 3. Z軸移動行程：±10mm； | |
| 4. 運動速度：0-3mm/s； | |
| 5. 細調(diào)分辨率：0.5nm |
產(chǎn)品選型
納米探針臺
澤攸科技提供適配Thermofisher/FEI、JEOL、ZEISS、Tescan及ZEPTOOLS等多種掃描電子顯微鏡型號的納米探針臺，支持定制。
采購中心
化工儀器網(wǎng)