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賽默飛 Axia ChemiSEM 智能型鎢燈絲掃描電鏡

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 本公司主要從事半導(dǎo)體進(jìn)口設(shè)備及輔助材料、醫(yī)療檢測設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等。

本公司主要從事半導(dǎo)體進(jìn)口設(shè)備及輔助材料、醫(yī)療檢測設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等

Axia ChemiSEM 智能型鎢燈絲掃描電鏡


賽默飛 Axia ChemiSEM 智能型鎢燈絲掃描電鏡(圖1)



【特點(diǎn)與應(yīng)用】
實(shí)時(shí)成分信息:同步掃描獲取多種信號時(shí)執(zhí)行能譜分析,實(shí)時(shí)檢測形貌與元素信息;
成像平臺即時(shí)可用:只需關(guān)注數(shù)據(jù)采集,不必憂慮電鏡條件設(shè)置;
更快獲得數(shù)據(jù):多種成像和掃描策略,優(yōu)化圖像采集效果并提升系統(tǒng)處理能力;
靈活的樣品臺設(shè)計(jì):全開門式設(shè)計(jì),大樣品可輕松加載到樣品倉內(nèi),樣品10 kg;
的成像性能:提供低真空模式和電子束減速模式用于消除荷電效應(yīng)。

【技術(shù)參數(shù)】
發(fā)射源:預(yù)對中鎢燈絲

分辨率:
高真空成像
3.0 nm@ 30 kV(SE);8.0 nm@ 3 kV(SE)
高真空下減速模式
7.0 nm@ 3 kV(BSE)
低真空成像
3.0 nm@ 30 kV(SE);4.0 nm@ 3 kV(BSE);10 nm@ 3 kV(SE)

放大倍數(shù):5 ~ 1,000,000×(寶麗來相紙放大)

加速電壓范圍:200 V ~ 30 kV 

探針電流范圍:可達(dá)到2 μA,連續(xù)可調(diào)

低真空范圍:高達(dá)150 Pa

X-Ray工作距離:10 mm,EDS檢出角:35°

樣品室:內(nèi)寬280 mm,端口10個(gè)

樣品臺:五軸全自動馬達(dá)驅(qū)動
X=120 mm,
Y=120 mm,
Z=55 mm,
T=-15o~90o,
R=360o (連續(xù)旋轉(zhuǎn))
樣品尺寸 240 x 280 x 128 mm3
樣品承重 10 kg

探測器系統(tǒng):
高真空二次電子探測器ETD
可伸縮式背散射探測器BSED
樣品室內(nèi)紅外相機(jī)CCD
圖像導(dǎo)航彩色光學(xué)相機(jī)Nav-Cam+™
具有ChemiSEM技術(shù)的TrueSight X EDS 探測器

控制系統(tǒng):
操作系統(tǒng):Windows 10
圖像顯示:24寸LCD顯示器,顯示分辨率1920×1200
支持用戶自定義的GUI,可同時(shí)實(shí)時(shí)顯示四幅圖像
軟件支持Undo和Redo功能




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