KYKY-EM6900 EM6900電子掃描顯微鏡

KYKY-EM6900掃描電鏡主要參數(shù)

1.電子的光學(xué)系統(tǒng)

（1）電子槍：發(fā)叉結(jié)構(gòu)鎢絲陰極；

（2）分辨率：二次電子像分辨率優(yōu)于 3.0nm（30KV）；

（3）放大的倍率：8×～300,000×；

（4）加速電壓：0 V～30kV，連續(xù)可調(diào)；

（5）自動(dòng)功能包括：自動(dòng)電子槍加熱、自動(dòng)對(duì)中、自動(dòng)加束流、自動(dòng)加偏壓、自動(dòng)聚焦&消像散、自動(dòng)象散記憶、自動(dòng)對(duì)比度、自動(dòng)亮度，實(shí)現(xiàn)一鍵看像功能，自動(dòng)故障檢測、自動(dòng)校正等等；

2.樣品室和樣品臺(tái)

（1）樣品臺(tái)：五軸高精密樣品臺(tái)。

X移動(dòng)方向不低于80mm，Y軸移動(dòng)方向不低于60mm，Z軸移動(dòng)方向不低于50mm，傾斜范圍為-5°～ +90° ，旋轉(zhuǎn)方向?yàn)?360°；

（2）可放置樣品尺寸：直徑110mm；

3.真空系統(tǒng)

渦輪分子泵和機(jī)械泵，可保持設(shè)備長期高分辨；