MKS萬(wàn)機(jī)ELITE750射頻電源（MW-2513匹配器）
- 公司名稱 東莞市天美電子有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2022/5/23 11:54:48
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示波器、頻譜分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀、信號(hào)發(fā)生器、綜合測(cè)試儀、藍(lán)牙測(cè)試儀、色彩分析儀、音頻分析儀、直流電源、交流電源、電子負(fù)載、功率計(jì)、頻率計(jì)、萬(wàn)用表...等各類測(cè)試儀器儀表。
| 供貨周期 | 現(xiàn)貨 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 |
|---|
eliteTM 等離子電源應(yīng)用：等離子蝕刻、化學(xué)氣相沉積和噴鍍應(yīng)用的穩(wěn)定耐用性射頻電源。憑借的功率控制和數(shù)字化接口，eliteTM 電源有著現(xiàn)在等離子工藝所要求的穩(wěn)定性和重復(fù)性。
eliteTM 等離子電源特點(diǎn)：在13.56MHz工作頻率上，eliteTM 平臺(tái)由基于50Ω負(fù)載的300W，600W及750W產(chǎn)品組成。數(shù)字控制模塊自動(dòng)量測(cè)射頻輸出功率和發(fā)射功率，確保功率輸出在1至300,600或760瓦時(shí)，有穩(wěn)定實(shí)際功率輸出，其偏差在設(shè)定值的±2%內(nèi)。可輸出高達(dá)1kHz脈沖射頻，工作比范圍為1至99%
的功率校準(zhǔn)按照基于NIST的ENI 電源標(biāo)準(zhǔn)完成的。低諧波畸變和無(wú)虛假性能強(qiáng)化了該單元的射頻功率輸出控制和的射頻穩(wěn)定性。一個(gè)堅(jiān)固耐用的射頻電源可以保證輸出到固定匹配器的實(shí)際功率。數(shù)字控制可以不間斷的偵測(cè)內(nèi)部子系統(tǒng)的狀態(tài)來(lái)實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的效益。
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