TGkine3300M 磁懸浮軸承型復合分子泵 TGkine-B系列
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 上海盈熾商貿(mào)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 TGkine3300M
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/6/18 10:02:38
- 訪問次數(shù) 1422
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泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
---|---|---|---|
葉輪數(shù)目 | 多級 | 應用領域 | 化工,石油,能源,電子,制藥 |
OSAKA磁懸浮軸承型復合分子泵 TGkine-B系列使用磁懸浮軸承實現(xiàn)無油的排氣,而且維護周期長。提供排氣速度300L/s~3400L/s的產(chǎn)品。
TG-M系列產(chǎn)品型號:
TGkine1700M/TGkine2200M、TGkine3300M、TGkine3800M/TGkine4200M、耐反應生成物 磁懸浮復合分子泵 TGkine-MI系列。
磁懸浮軸承型復合分子泵 TGkine-B系列產(chǎn)品特點:
■將電源控制器與分子泵一體化
■省電設計
■輕巧設計
■對應防護等級IP54
■多種通信接口
■對應國際規(guī)格
CE/NRTL/SEMI-S2
使用場合:
?半導體制造設備
?FPD制造設備
?太陽能電池制造設備
?玻璃/鏡片等光學元件加工
?薄膜加工
?加速器/宇宙環(huán)境模擬設備
技術參數(shù):
型號 | TGkine3300M | TGkine3300M-40 | TGkine3400M | |
吸氣口法蘭 | VG300 ISO-B320 | VG300 ISO-B320 | VG350 | |
排氣口法蘭 | KF40/KF50 | |||
排氣速度 | N2(L/s) | 3300 | ||
N2(附帶金屬防護網(wǎng)) (L/s) | 3100 | |||
H2(L/s) | 2700 | |||
最大壓縮比 | N2 | >1×108 | ||
H2 | 3×103 | |||
極限壓力 | VG?ISO-B(Pa) | <2×10-7 | ||
VG?ISO-B(Torr) | <7.5×10-9 | |||
最大氣體流量 | N2 (sccm) | 2100 | 4000 | 2100 |
啟動時間 | (min) | ≦11 | ||
停止時間 | (min) | ≦13 | ||
允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 170/1.28※1 | ||
推薦輔助泵 | (L/min) | ≧2000 | ||
輸入電壓 | (V) | AC200-240V -15%+10% | ||
相數(shù) | 單相 | |||
頻率 | (Hz) | 50/60 | ||
電流 | (A) | Max. 5.3 | ||
所需電力 | (kVA) | Max. 0.9 | ||
通信接口 (規(guī)格可選) | Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet | |||
防護等級 | IP54 | |||
安裝角度 | 任意 | |||
重量 | VG?ISO-B(kg) | 69 | ||
控制器型號 | 控制器與分子泵一體型 |
性能曲線圖: