型號 | TG390M | TG420M | TG900M | TG1300M | TG2400M | |
法蘭 | 吸氣口ISO-R/CF | 100 | 160 | 160 | 200 | 250 |
排氣口 | KF25 | KF25 | KF40 | KF40 | KF40 | |
排氣速度 | N2（附加金屬過濾網(wǎng)） | 320L/s | 370L/s | 860L/s | 1230L/s | 2300L/s |
H2 | 290L/s | 300L/s | 1050L/s | 1200L/s | 1100L/s | |
大壓縮比 | N2 | 1×108 | 1×108 | 1×108 | 1×108 | 1×108 |
H2 | 4.3×103 | 4.5×103 | 1.5×104 | 1.5×104 | 1.5×103 | |
極限壓力 | ISO-R/CF | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa/＜1×10-7Pa | ＜1×10-6Pa |
可達(dá)氣體流量 | N2（sccm） | 2000 | 2000 | 3000 | 3000 | 3000 |
推薦輔助泵 | ≥160L/min | ≥160L/min | ≥250L/min | ≥250L/min | ≥500L/min | |
容許輔助壓力 | 400Pa | 400Pa | 500Pa | 500Pa | 200Pa | |
重量Kg | ISO-R/CF | 14/17 | 14/17 | 34/42 | 34/42 | 45/54 |
TG390M/TG2400M 磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TG-M系列
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 上海盈熾商貿(mào)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 TG390M/TG2400M
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/6/18 10:04:52
- 訪問次數(shù) 1193
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| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 多級 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),石油,能源,電子,制藥 |
磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TG-M系列使用磁懸浮軸承實現(xiàn)無油的排氣，而且維護(hù)周期長。提供排氣速度300L/s～3400L/s的產(chǎn)品。
TG-M系列磁懸浮分子泵產(chǎn)品型號：TG390M、TG420M、TG900M、TG1300M、TG2400M。
特點(diǎn)：
任意方位安裝
輕巧設(shè)計
節(jié)能
分子泵停止與啟動時間短
附帶維護(hù)警報機(jī)能
低振動
無需調(diào)整
自動校準(zhǔn)
可控制轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)速度
大流量排氣
多種通信模式
符合安全規(guī)格 NRTL/SEMI-S2/CE
應(yīng)用：
半導(dǎo)體制造
電子槍排氣，離子源排氣
FPD制造
表面處理，表面改質(zhì)
各種電子部件的制造
分析，試驗裝置
管球制造，光學(xué)部件制造
加速器，放射線設(shè)施，核聚變研究
熱處理
研究開發(fā)
磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵 TG-M系列技術(shù)規(guī)格：
采購中心
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