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半導(dǎo)體設(shè)備 AMC在線監(jiān)測
- 公司名稱 廣東瑞零科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2022/9/14 17:33:44
- 訪問次數(shù) 326
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價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,綜合 |
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半導(dǎo)體設(shè)備 AMC在線監(jiān)測,AMC為Airborne Molecular Contaminants的縮寫,從字面意義來看,是初始狀態(tài)為氣相。行為像單一分子的氣態(tài)污染物,或者說是在環(huán)境中有能力沉降于材料表面形成單分子層薄膜的化學(xué)污染物,譯為“懸浮分子污染物”或“氣載分子污染物”。簡言之,AMC就是對產(chǎn)品或工藝設(shè)備及其流程有不良影響的非粒子狀的懸浮化學(xué)污染物。 國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會在SEMI F21-95,F(xiàn)21-1102中給出了AMC氣體的分類體系。該標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體業(yè)的潔凈環(huán)境,4個“標(biāo)準(zhǔn)范圍”:酸(MA),堿(MB),冷凝物(MC),雜物(MD)。涵蓋所有對產(chǎn)品或工藝有危險的AMC,不僅適用于半導(dǎo)體生產(chǎn),也適用于藥品生產(chǎn)。