GSL-1700X-HVC 1700°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

殼體       

 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命     

 · 保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失 

· 真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動(dòng)架上，方便移動(dòng).儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭，閥門，高真空機(jī)組

爐管

 · 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管 

· 一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上

 · （標(biāo)配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L 

（選配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1000mm L

功率

 6KW工作電壓  AC 208-240V單相, 50/60Hz 

加熱元件 

8 根1800°C grade MoSi2 heating element 

工作溫度

 · 最高工作溫度.: 1650°C（<2h） 連續(xù)工作溫度.: 1600°C

升溫速率

 ≤5°C/min 

加熱區(qū)長(zhǎng)度 

加熱區(qū)長(zhǎng)度: 457 mm (18") 

溫控系統(tǒng)

 · 采用PID方式自動(dòng)控制，并可設(shè)置30段升降溫程序

 · 控溫精度: ±1°C                   

 · 熱電偶: B 型，已經(jīng)安裝在爐內(nèi) 

真空法蘭 

· 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝

 · 法蘭上帶有一機(jī)械壓力表

 · 兩個(gè)精密針閥 

· 一個(gè)KF-25連接器 和KF-25 轉(zhuǎn) KF-40 抽氣接口一個(gè)1/4"卡套接頭

 外形尺寸

 550 x 380 x 520mm

功率        

100~110W 

工作電壓 

AC 208-240V單相, 50/60Hz 

外形尺寸

 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

高真空機(jī)組殼體

 · 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm 

· 最大承載量:       600 Lbs on top 

· 分子泵控制面板:   LCD 數(shù)字顯示內(nèi)裝有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany: 

控制面板

 · 一鍵操作：按下"start" 鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)（隔膜泵先啟動(dòng)等真空度達(dá)到10-2mbar后，啟動(dòng)）  

· 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率：根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率   

抽氣速率

 · N2     33 L/s·  He     39 L/s   (2340L/minute)H2   32 L/s

工作范圍 

 1000 mbar to <1E-7 mbar 

極限 

<1E-8 mbar (without any leaking )

質(zhì)量流量控制器殼體

 · 采用 316不銹鋼制作                                                    

 · 混氣箱尺寸: Φ80X120mm   

· 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mmMFC控制面板 (Click to enlarge)，可根據(jù)客戶要求定制

功率 

18W 

工作電壓

 AC 208-240V, 單相, 50/60Hz

質(zhì)保期 

一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件