MX6R 微分干涉顯微鏡

性能特點

■ 采用無限遠色差校正光學系統

■ 長工作距、明暗場兩用平場消色差物鏡，成像清晰、像面平坦

■ 配備反射式柯拉照明系統，為不同倍率的物鏡提供均勻充足的照明

■ 正像三通觀察筒，25°傾斜，極大的提高了觀察的舒適性與操作的適應性

■ 配備了4寸帶離合器的機械平臺230X215mm，行程105mmX105mm，可快速移動

■ 舒適人機學設計，高剛性鏡筒，“Y”型底座，調焦機構采用前置式操作控制，精微調同軸

■ 光源采用寬電壓數字調光技術，具有光強調定與復位功能

■ 可選配攝影攝像裝置、簡易偏光裝置、干涉濾光片、測微尺等附件，拓展應用領域

技術參數

寬視場鉸鏈式三目觀察筒

正像鉸鏈三目觀察筒，所成像的方位與物體實際方向相同，物體移動的方向跟像面移動的方向相同，便于觀察與操作。

大行程移動平臺設計

采用6寸平平臺設計，行程158×158mm，可適用于對應尺寸的晶圓或FPD檢測，也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。

高精度物鏡轉換器

轉換器采用精密軸承設計，轉動手感輕巧舒適，重復定位精度高，物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制。

安全、穩(wěn)重的機架結構設計

工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機架，保證了系統的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
其前置低手位粗微調同軸調焦機構，內置100-240V寬電壓變壓器，可適應不同地區(qū)的電網電壓。底座內部設計有風循環(huán)散熱系統，長時間使用也不會使機架過熱。

明場觀察（透射） 

5W大功率LED，配以N.A.0.5聚光鏡，可以透照明下，觀察LCD彩色液晶顯示屏，器件框架邊緣等。

透射照明與反射照明為獨立控制，即可同時亮，也可單獨亮。

明場觀察（反射）

遠心坷拉反射照明系統，配以全新設計的無限遠平場消色差長工作距金相物鏡，從低倍到高倍，都能得到清晰、平坦、明亮的高畫質顯微圖像。

簡易偏光觀察

將起偏器鏡及檢偏鏡插板插入照明的預定位置，即可進行簡易偏光觀察。檢偏鏡可分為固定式和360°旋轉式兩種。

暗場觀察

將暗場照明拉桿拉到預定位置，即可使用暗場功能，可以觀察物體表面的各種劃痕、雜質點及其他細微缺陷，暗場功能只限于MX6R/MX6R（透反）機型。

DIC微分干涉觀察

在正交偏光的基礎上，插入DIC棱鏡，即可進行DIC微分干涉相襯觀察。使用DIC技術，可以使物鏡表面微小的高低差產生明顯的浮雕效果，極大的提高圖像的對比度。

5X、10X、20X專為DIC設計，使得整個視場的干涉一致，微分干涉效果非常出色，高倍物鏡DIC效果也較好。