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FPTOR-RIE600W 反應(yīng)離子刻蝕機系統(tǒng)
- 公司名稱 孚光精儀(中國)有限公司
- 品牌 孚光精儀
- 型號 FPTOR-RIE600W
- 產(chǎn)地 www.felles.cn/icprie.html
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/12/20 14:33:05
- 訪問次數(shù) 765
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反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)RIE600W是一款進口等離子體反應(yīng)離子蝕刻機,用于各向同性蝕刻,蝕刻氧化物、氮化物、聚合物等薄膜。等離子體蝕刻系統(tǒng)可容納直徑達(dá)200mm的晶片樣品。我們的定制的反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)可根據(jù)幾何形狀和研究需要處理各種樣品尺寸。
反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)可以手動或PC控制,可以是桌面或獨立機柜系統(tǒng)。
反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)RIE600W用于各向同性蝕刻材料,包括金屬氧化物、硅和微電子器件。配有自動匹配網(wǎng)絡(luò)和腐蝕性氣體的全功率600瓦射頻電源可對各種材料產(chǎn)生10°/s的蝕刻速率。
反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)RIE600W自動射頻功率控制確保了手動射頻功率控制無法實現(xiàn)的過程的一致再現(xiàn)。RIE600渦輪分子阻力泵系統(tǒng)可達(dá)到10-5Torr的基本壓力。這種低真空在開始每個過程之前消除雜質(zhì)。這是新蝕刻工藝所必需的。
反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)特點
緊湊的桌面設(shè)計,適用于樣品的各向同性蝕刻(20英寸x 24英寸的占地面積)
帶頂部開口的鋁或不銹鋼腔室(蛤殼式)
腔室上的小視圖端口
水冷6''晶片/樣品臺(最多可容納一個6''晶片)
蝕刻/清潔的均勻性(在6''晶片上小于5%)
帶匹配網(wǎng)絡(luò)的射頻電源
匹配雙級旋轉(zhuǎn)葉片泵的渦輪分子真空泵系統(tǒng)
用于工藝氣體的帶數(shù)字讀數(shù)的質(zhì)量流量控制器
定制一體式氣體淋浴器
帶數(shù)字顯示和讀數(shù)的真空計(測量至0.1mTorr)
半自動控制系統(tǒng)
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