TESCAN SOLARIS

TESCAN SOLARIS是一款鐐離子源的FIB-SEM 系統(tǒng)，適用于超薄TEM樣品制備和其他具有挑戰(zhàn) 性的納米加工任務(wù)。

SOLARIS配備Triglav™型SEM鏡筒，具有 超高的分辨率和優(yōu)異的圖像襯度和表面靈敏度。

TESCAN SOLARIS 還配備了 Orage™ 型 FIB 鏡筒，保證了出色的低電壓離子束分辨率和微加工 性能，能夠制備小于20nm最佳質(zhì)量的半導(dǎo)體器件 超薄TEM樣品。此外，高達(dá)100 nA的離子束流可 以對(duì)樣品進(jìn)行位置的、大體積F舊-SEM逐層 掃描，圖像也具有出色的襯度。

新型Orag葉銖離子FIB鏡筒

創(chuàng)新的OrageTM稼離子FIB鏡筒配有良好的 離子光學(xué)系統(tǒng)，束流最大可提升至100 nA,擴(kuò)展的 離子束能,范圍及優(yōu)異的低電壓性能，有助于在 TEM制樣的最后環(huán)節(jié)消除非晶層。

OrageTM F舊鏡筒中的壓電驅(qū)動(dòng)光闌變換器， 具有超高速度和可重復(fù)性--配置30個(gè)光闌，適用 性更強(qiáng)，且維護(hù)間隔長(zhǎng)；離子槍壓電對(duì)中技 術(shù)使得在所有F舊設(shè)置條件下都能保證優(yōu)的鏡筒 對(duì)中。

•  SEM 分辨率：0.6nm@15kV

•  F舊分辨率：＜2.5nm@30kV

•  可選擇性釆集能量過濾后的電子信號(hào)，獲得 更好的表面靈敏度和襯度

•  離子束流變化范圍大，滿足不同精度、體積 要求的樣品加工任務(wù)

•  F舊的低電壓可達(dá)500 V,能夠制備小于 20 nm且具有高品質(zhì)的超薄TEM樣品

•  FIB-SEM層析成像的同時(shí)，可獲得EDS和 EBSD數(shù)據(jù)，快速進(jìn)行3D超微結(jié)構(gòu)研究和 微量分析表征

1.10nm制程IC截面的TEM圖像，線寬小于10nm。

2.10 nm制程芯片,研磨去層后成像。

3.哺乳動(dòng)物細(xì)胞的3D超微結(jié)構(gòu)重建，體積約為6x8x6卩m3。

4.鋰電池中鋰元素的面分布，采用TOF-SIMS聯(lián)用技術(shù)分析。