NanoAir™ 氣溶膠粒子計(jì)數(shù)器

NanoAir™凝結(jié)粒子計(jì)數(shù)器（CPC）是美國粒子監(jiān)測系統(tǒng)公司（PMS）推出的一款革命性新產(chǎn)品。它兼具凝結(jié)粒子計(jì)數(shù)器的靈敏度以及傳統(tǒng)潔凈室粒子計(jì)數(shù)器的易用性和功能性。專為監(jiān)測超潔凈環(huán)境而設(shè)計(jì)，在2.8升/每分鐘（0.1立方英尺/每分鐘）的采樣流速下，可實(shí)現(xiàn)10納米檢測靈敏度。

NanoAir的尺寸比同類產(chǎn)品小83%，因此便于在超潔凈環(huán)境下的任何地點(diǎn)使用，甚至可在半導(dǎo)體制程機(jī)臺和設(shè)備前端模塊（EFEM）內(nèi)部使用。工作流體處理系統(tǒng)采用創(chuàng)新設(shè)計(jì)，非常穩(wěn)健、高效，可實(shí)現(xiàn)全年、全天候連續(xù)運(yùn)行，無需維護(hù)或任何形式的用戶干預(yù)，因此減少了采樣和數(shù)據(jù)收集時的中斷及制程機(jī)臺停工時間。

配套提供ParticleSeeker™分流產(chǎn)品，其搭載10個端口，支持按順序或編程順序監(jiān)測多個采樣位置的應(yīng)用場景。

此外，NanoAir在選配PMS的HPD-III高壓擴(kuò)散器后，與高壓氣體兼容，數(shù)據(jù)可通過PMS Facility Net設(shè)施監(jiān)測軟件予以查看、分析和報(bào)送，或直接傳輸?shù)降谌降谋O(jiān)控和數(shù)據(jù)采集（SCADA）系統(tǒng)或作為制程機(jī)臺輸入值。 

特點(diǎn)

• 在不使用零計(jì)數(shù)減法方案的情況下，零計(jì)數(shù)<1.5個計(jì)數(shù)/立方米

• 10納米下的計(jì)數(shù)效率= 50% ± 20%，15納米下的計(jì)數(shù)效率= 100% ±      10%

• 占用面積比同類產(chǎn)品小83%（16.5 x 20.2 x 15.2厘米）

• 每年只需在年度校準(zhǔn)時補(bǔ)充一次工作流體，在每天24小時及每周7天的全天候操作情況下，補(bǔ)充一次工作流體后可維持15個月

• 靈敏度：≥10納米

• 采樣流速：2.8升/每分鐘（0.1立方英尺/每分鐘）

• IP地址和位置留在基站中，可實(shí)現(xiàn)儀器的“熱交換”

• 4-20mA輸入（x4）&輸出（x2），用于附加傳感器（例如：溫度、相對濕度、DAP）。

• USB端口（2）：用于USB串口（服務(wù)端口）和U盤

• 以太網(wǎng)端口（2）：用于以太網(wǎng)協(xié)議和運(yùn)行在TCP/IP上的MODBUS

• 上電后20分鐘即可運(yùn)行

• 數(shù)據(jù)可通過PMS Facility Net設(shè)施監(jiān)控軟件予以查看、分析和報(bào)送，或直接傳輸?shù)降谌降谋O(jiān)控和數(shù)據(jù)采集（SCADA）系統(tǒng)或作為制程機(jī)臺輸入值

• 按順序或編程順序監(jiān)測（使用ParticleSeeker10端口采樣器）

• 兼容高壓氣體

• 適合在ISO 1級環(huán)境中使用

優(yōu)勢

• 在同類產(chǎn)品中尺寸最小，可在最關(guān)鍵功能區(qū)的制程機(jī)臺內(nèi)和擁擠的高壓氣體分配公用設(shè)施板上進(jìn)行監(jiān)測

• 工作流體處理系統(tǒng)采用創(chuàng)新設(shè)計(jì)，非常穩(wěn)健、高效，可實(shí)現(xiàn)全年、全天候連續(xù)運(yùn)行，無需用戶干預(yù)，防止采樣和數(shù)據(jù)收集的中斷

• 同類最佳的外部容積尺寸，為設(shè)計(jì)用于制造和制程控制應(yīng)用場景的凝結(jié)粒子計(jì)數(shù)器設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)

• 不使用鞘氣，提供容積采樣能力

• 在運(yùn)輸、處理和安裝過程中，不會出現(xiàn)其他凝結(jié)粒子計(jì)數(shù)器在工業(yè)場景下常見的非必要流體運(yùn)移

• 無內(nèi)泵或風(fēng)扇；省去維護(hù)工作，消除潛在的顆粒生成

• 能夠按順序或編程順序監(jiān)測多個采樣點(diǎn)

應(yīng)用場景

• 制程區(qū)域的使用點(diǎn)（POU）監(jiān)測

• 實(shí)時連續(xù)的粒子活動監(jiān)測

• 在半導(dǎo)體制程機(jī)臺和前端設(shè)備模塊（EFEM）內(nèi)部使用

NanoAir + ParticleSeeker （10端口采樣器）：

• 在制程機(jī)臺設(shè)備前端模塊（EFEM）的微型環(huán)境內(nèi)進(jìn)行監(jiān)測

• 適用于需按照晶圓片或其他關(guān)鍵表面的路徑進(jìn)行程序化采樣點(diǎn)監(jiān)測的應(yīng)用場景

• 大面積污染監(jiān)測，最大120平方米的晶圓廠/制程空間

NanoAir + HPD-III（用于高壓惰性氣體監(jiān)測）：

對惰性高壓氣體管道進(jìn)行實(shí)時、連續(xù)監(jiān)測，包括壓縮空氣、氮?dú)?、氬氣和二氧化?/span>

可用配件

ParticleSeeker™多口氣溶膠采樣器

ParticleSeeker是NanoAir™氣溶膠納米粒子計(jì)數(shù)器所配套的一款氣溶膠分流器，其搭載10個端口，專門設(shè)計(jì)用于最關(guān)鍵的晶圓廠空間，可用于需要按順序或編程順序監(jiān)測多個采樣位置的應(yīng)用場景。

高壓擴(kuò)散器（0.1立方英尺/每分鐘）

由于粒子計(jì)數(shù)器是為大氣壓力所設(shè)計(jì)的，因此高壓擴(kuò)散器通過將壓力在40-100psi的氣體降至粒子計(jì)數(shù)器可接受的范圍，從而實(shí)現(xiàn)高壓氣體管道中的計(jì)數(shù)顆粒。

Facility Net軟件

Facility Net軟件提供了一項(xiàng)全面的環(huán)境監(jiān)測解決方案，包括實(shí)時和歷史數(shù)據(jù)顯示。與美國粒子監(jiān)測系統(tǒng)公司的粒子計(jì)數(shù)器和分子污染監(jiān)測器，以及各種第三方產(chǎn)品兼容。