AFM-in-SEM

LiteScop 是一種特殊的原子力顯微鏡 (AFM)，"即插即用"，專為集成到掃描電子顯微鏡 (SEMs) 中而設(shè)計(jì)。

新穎的探針和電子顯微鏡關(guān)聯(lián)(CPEM) 技術(shù)可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精確的快速 AFM 和 SEM 數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)。

• 快速、即插即用地集成到 SEM 中

• 兼容FIB、GIS、EDX等標(biāo)準(zhǔn) SEM 附件

• 高度可定制

• 也可用作獨(dú)立的原子力顯微鏡

關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢(shì)

1、復(fù)合且相關(guān)的樣品分析

關(guān)鍵的 CPEM 技術(shù)可以同時(shí)采集 AFM 和 SEM 通道并將它們無(wú)縫關(guān)聯(lián)到 3D圖像中。

2、原位樣品表征

SEM 內(nèi)部的原位條件可確保在相同時(shí)間、相同地點(diǎn)和相同條件下進(jìn)行樣品分析。

3、精確定位感興趣區(qū)域

極其精確和省時(shí)的方法使用 SEM 將 AFM 針尖導(dǎo)航到感興趣的區(qū)域，從而實(shí)現(xiàn)快速和輕松的定位。