質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品簡介：

流量計/控制器和壓力控制器廣泛應用于氣相色譜、分析設備、材料設備、生物醫(yī)藥、半導體等領域。

G300C 系列流量控制器可根據(jù)客戶需求定制，更加適用于客戶使用環(huán)境。

數(shù)字式設計簡介：

G300C 系列質(zhì)量流量控制器標配高精度傳感器和數(shù)字電路，數(shù)字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。G300C 系列采用標準的RS-485 Modbus RTU 通信模式。RS-485 總線最高可擴展至 255 臺設備同時使用。

G300C 質(zhì)量流量控制器特點：

? 高精度、高分辨率控制

? 低功率，功率＜2W

? 集成 20 種基礎氣體種類

? 可自定義 10 種混合氣體

? 控制參數(shù)自整定功能

? 數(shù)字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式

? 寬流量量程范圍

? 無需預熱

? 無安裝方向限制

? 具有高重復性和高可靠性

? 采用電磁比例閥，使用壽命長，響應速度快

? 自帶溫度補償，補償范圍 0-50℃

? 內(nèi)部閉環(huán)控制，具有高穩(wěn)定性

? 小封裝尺寸

量程及精度簡介：

? 可用量程：

? 最大 0-50slpm

? 最小 0-1sccm

? 常備量程請參考選型表

? 量程比：1000:1    ? 滿量程精度：±0.2%

? 讀取精度：±0.8%   ? 可重復性：±0.2%FS

? 響應時間：＜100ms（調(diào)節(jié) PID 控制參數(shù)可縮 短響應時間）

應用領域：

? 氣相和液相色譜儀 ? 半導體工藝

? 環(huán)境監(jiān)測設備   ? 微反應裝置及材料制備實驗裝置（CVD）

? 氣體發(fā)生器    ? 配氣混氣系統(tǒng)

功能介紹：

流量控制                          可實現(xiàn)高精度、高重復性、多種氣體質(zhì)量流量控制。

累計流量                          可通過 Modbus-RTU 協(xié)議讀取累計流量。

獨立使用                          無需連接任何設備，可通過按鍵和顯示完成大部分功能操作。

多種量程選擇                  最小量程 1sccm，最大量程 50slpm。

內(nèi)置 20 種基本氣體        內(nèi)置 20 種基本氣體，氣體種類可定制。

10 種自定義混合氣        可根據(jù)使用需求，自定義混合氣。

多電氣接口                     標準配置 1 個 DC 插座，2 個 RJ45 接口，1 個 DB9 接口。

模擬控制                         0-5V 模擬控制信號輸入輸出。

數(shù)字控制                         按鍵控制或使用 RS-485 通信控制。

標準 Modbus-RTU      RS-485 通信采用標準 Modbus-RTU 通信協(xié)議。

參數(shù)自整定                    控制參數(shù)可通過協(xié)議或按鍵實現(xiàn)自動調(diào)整到最佳 PID 控制參數(shù)。

設定值記憶功能             開啟該功能后，MFC 可記錄斷電前最后一次設定值，再次通電直接執(zhí)行該設定值。

閥控功能                        可實現(xiàn)閥全開、閥全關、閥自動閉環(huán)控制功能。

多臺設備串聯(lián)                 通過更改通信地址，最大可實現(xiàn) 255 臺設備串聯(lián)控制。

自定義波特率                  可通過 Modbus-RTU 設置自定義波特率。