化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>集成電路測(cè)試與分選設(shè)備>探針臺(tái)>KT-Z4019MRL4T 制備LK-99 可選用 微型探針太臺(tái)測(cè)試材料
KT-Z4019MRL4T 制備LK-99 可選用 微型探針太臺(tái)測(cè)試材料
- 公司名稱(chēng) 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
- 品牌 鄭科探
- 型號(hào) KT-Z4019MRL4T
- 產(chǎn)地 鄭州
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/3/29 14:31:22
- 訪問(wèn)次數(shù) 988
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制備LK-99 可選用 微型探針太臺(tái)測(cè)試材料
高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)達(dá)到≤10Pa即可進(jìn)行低溫測(cè)試而無(wú)凝露或結(jié)霜。對(duì)于選用了入門(mén)級(jí)配置的用戶(hù),可選用雙極旋片式機(jī)械泵即可達(dá)到目標(biāo)真空度,從而減少設(shè)備的配置預(yù)算。對(duì)于真空度有更高要求的用戶(hù),可選用分子泵組對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行抽真空。低溫探針臺(tái)系統(tǒng)可達(dá)10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組,以滿足測(cè)試要求。
為了減少泵組的振動(dòng),我們還專(zhuān)門(mén)為用戶(hù)設(shè)計(jì)了隔振器,地衰減泵組工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng),以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定,減少探針的漂移。
度
制備LK-99 可選用 微型探針太臺(tái)測(cè)試材料
真空腔體 | ||
類(lèi)型 | 高溫型室溫到350℃ | 高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 6061鋁合金 可選 | |
腔體內(nèi)尺寸 | 127mmX57mmX20mm | |
腔體外尺寸 | 150mmX80mmX32mm | |
腔體重量 | 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG | |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離) | |
腔體抽氣口 | KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接) | |
腔體真空測(cè)量口 | KF16法蘭(其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接) | |
腔體進(jìn)氣口 | 6mm快擰 或 6mm快插 | |
腔體冷卻方式 | 腔體水冷+上蓋氣冷 | |
腔體水冷接口 | ||
腔體正壓 | ≤0.05MPa | |
腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa (5分鐘) 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘) | |
樣品臺(tái) | ||
樣品臺(tái)材質(zhì) | 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 | 銀銅合金 純銀塊 |
樣品臺(tái)尺寸 | 26x26mm | |
樣品臺(tái)加熱方式 | 電阻加熱 | 電阻加熱 液氮制冷 |
樣品臺(tái)-視窗 距離 | 11mm(可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm) | |
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器 | PT100型熱電阻 | |
樣品臺(tái)溫度 | 室溫到400℃ | 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差 | ±0.5℃ | |
樣品臺(tái)升溫速率 | 高溫100℃/min 低溫7℃/min | |
溫控儀 | ||
溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 | |
溫控類(lèi)型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定 | |
溫度分辨率 | 0.1℃ | |
溫控精度 | ±0.5℃ | |
溫度信號(hào)輸入類(lèi)型 | PT100 (可選K S B型熱電偶) | |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱 | 直流線性電源加熱+液氮流速控制器 |
輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口 | |
溫控器尺寸 | 32cmX170cmX380cm | |
溫控器重量 | 約5.6KG | |
探針 | ||
電信號(hào)接頭 | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2米 | |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA | |
探針數(shù)量 | 4探針(可擴(kuò)展5探針) | |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 (其他材質(zhì)可選) | |
探針尖 | 10μm | |
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái) | ||
X軸移動(dòng)行程 | 20mm ±10mm(需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)) | |
X軸控制精度 | ≥500μm | |
R軸移動(dòng)行程 | 120° ±60°(需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿) | |
R軸控制精度 | ≥500μm | |
Z軸移動(dòng)行程 | 2mm ±1mm | |
Z軸控制精度 | ≤50μm(需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿) |
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