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德國Diener Bell Jar 35 研究型等離子清洗機(jī) 不銹鋼研究設(shè)備

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 本公司主要從事半導(dǎo)體進(jìn)口設(shè)備及輔助材料、醫(yī)療檢測設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等。

本公司主要從事半導(dǎo)體進(jìn)口設(shè)備及輔助材料、醫(yī)療檢測設(shè)備等多領(lǐng)域的銷售,是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的企業(yè)。我們的主營業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷售及加工材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷售;國內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷售等

德國Diener Bell Jar 35 研究型等離子清洗機(jī)



基本設(shè)備:

。外殼約寬560MMx高1640MMx深620mm

。腔室容積:約35升

。供電電源:230V/16A



氣源:

。3個(gè)質(zhì)量流量控制器(MFCs)



控制系統(tǒng):

。PCCE控制系統(tǒng)(Microsoft Windows XPe)





發(fā)生器:

。頻率:40KHz, 功率 0-500W

13.56MHz, 功率 0-300W

。直流偏置電源或單極性脈沖,功率300W,電壓600V,直流電

。發(fā)生器為 0-99% 無級可調(diào)型


真空腔室:

。硼硅玻璃材質(zhì)的玻璃罩,直徑315MMx高500MM



真空泵:

。規(guī)格和制造商均各有不同(按照活性炭過濾器的需要)



濺射源:

。1個(gè)濺射源2"-3"+擋板(可為反應(yīng)過程選配排煙管和進(jìn)氣口)



基材支架:

。直徑140MM(可選擇旋轉(zhuǎn)型,基材加熱器,基材冷卻裝置)

??汕袚Q為等離子預(yù)處現(xiàn)的電極(清洗,活化,蝕刻)





壓力測量:

。Pirani



其它選項(xiàng):

備件套件,壓力計(jì),腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),氣瓶,減壓器,加熱板,溫度顯示器,加熱型腔室,F(xiàn)araday Box, 等離子體聚合配件,試墨水,氧氣發(fā)生器,慢速通風(fēng)裝置,慢速抽吸裝置,TEM樣品架法蘭,維護(hù)/服務(wù),當(dāng)?shù)卣Z言的文件,現(xiàn)場安裝,包括培訓(xùn),可應(yīng)需求提供的其它選項(xiàng)。



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