RTP-Table-6 桌面式半導(dǎo)體快速退火爐
- 公司名稱 東莞市晟鼎精密儀器有限公司
- 品牌 晟鼎
- 型號(hào) RTP-Table-6
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/2/4 13:47:25
- 訪問(wèn)次數(shù) 890
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
桌面式半導(dǎo)體快速退火爐,RTP-TABLE-6是一款桌面型快速退火設(shè)備,標(biāo)配三組工藝氣體,可最大兼容6英寸晶圓Wafer。
桌面式半導(dǎo)體快速退火爐的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
?紅外鹵素?zé)艄芗訜?,冷卻采用風(fēng)冷;
?采用快速PID溫控,可精準(zhǔn)控制溫度升溫,保證良好的重現(xiàn)性和溫度均勻性;
?采用平行氣路進(jìn)氣方式,氣體進(jìn)出口設(shè)置在晶圓表面,避免退火過(guò)程中冷點(diǎn)產(chǎn)生,保證良好的溫度均勻性;
?大氣與真空處理方式均可選擇,實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣前氣體凈化處理。
晟鼎與華南理工大學(xué)聯(lián)合創(chuàng)建等離子技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室,所有產(chǎn)品系列皆通過(guò)CE認(rèn)證。