Zygo NewView 9000 3D 光學(xué)輪廓儀

Zygo NewView  9000 3D 光學(xué)輪廓儀提供了強(qiáng)大的非接觸式光學(xué)表面分析的多功能

性。它可以容易和快速地測量各種表面類型，包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。所有的測量都是無損、快速、無需樣品制備的。

系統(tǒng)的核心是 ZYGO 相干掃描干涉技術(shù)(CSI)，提供了所有放大倍數(shù)下亞納米的精度，并且能夠快速測試各種樣品表面。

主要特點(diǎn):

•高靈敏度 1.9 MP 傳感器

•快速非接觸式測量

•3D 表面可視化

亞埃級精度

•超精密&計(jì)量能力

•增強(qiáng)光學(xué)成像

•自動(dòng)零件定位

性能，價(jià)值和多樣性

靈活性是 ZYGO NewView 產(chǎn)品的標(biāo)志。NewView 9000 光學(xué)輪廓儀提供了多樣化的應(yīng)用，包括平面度，粗糙度和波紋度，薄膜，臺階高度和其他。

所有NewView 9000 輪廓儀都配備一個(gè)3 種變焦塔臺，包含量身定做的分立變焦光學(xué)系統(tǒng)。樣品臺配置是手動(dòng)到編碼的自動(dòng)化選擇。

所有 NewView 9000 輪廓儀系統(tǒng)都提供高精度測量，易于使用和快速測量，價(jià)格吸引人， 在通用性和應(yīng)用價(jià)值方面使其成為 3D 光學(xué)輪廓儀的理想選擇。

以下差異化特性實(shí)現(xiàn)用戶計(jì)量更好、更快和更可靠:

• 大面積 1.9 MP 傳感器：高靈敏度，在單次測量中獲取更多的信息

• 高速測量：只需幾秒時(shí)間，優(yōu)化的測試能力和程序控制

• 自動(dòng)零件聚焦和定位：縮短用戶培訓(xùn)時(shí)間，更快獲取數(shù)據(jù)結(jié)果

• 重復(fù)性特征：優(yōu)異的測量精度和可重復(fù)性，為高要求的生產(chǎn)應(yīng)用提供服務(wù)

• 抗震測量： SureScan 抗震技術(shù)和內(nèi)置抗震技術(shù)使得在震動(dòng)環(huán)境下也可實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的計(jì)量

• SmartPSI 技術(shù)：對超光滑表面進(jìn)行快速分析測量

• 2D 和 3D 的相關(guān)性：測量結(jié)果符合 ISO 25178 和 ISO 4287 標(biāo)準(zhǔn)。

• Mx 軟件：實(shí)現(xiàn)儀器控制、分析和測量自動(dòng)化

分析&控制軟件

Zygo NewView 9000 輪廓儀使用 ZYGO Mx 軟件，支持完整系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析，包括豐富的交互式 3D 繪圖，量化的形貌信息，直觀的測量導(dǎo)航以及內(nèi)置的 SPC 統(tǒng)計(jì)，質(zhì)量控制圖，通過/失敗限制設(shè)置。

•交互式 3D 繪圖-縮放，平移，旋轉(zhuǎn)，并實(shí)時(shí)更新結(jié)果。

•靈活分析——廣泛的定量分析結(jié)果，包括數(shù)據(jù)視圖和過濾器。

•直觀的用戶界面，易于學(xué)習(xí)和使用的流程界面設(shè)計(jì)。

內(nèi)置 SPC 分析工具，跟蹤結(jié)果，監(jiān)控合格和不合格的標(biāo)準(zhǔn)，跟蹤處理數(shù)據(jù)。

還有滿足額外特殊應(yīng)用需求的應(yīng)用程序模塊，如有透明薄膜的樣品測量，2D 圖像分析等。

靈活的配置

NewView 9000 輪廓儀的工作區(qū)域功能開放，界面條理清晰，使測量設(shè)置和改變簡單&快速。系統(tǒng)可以配備多種樣品平臺，從手動(dòng) X/Y 和傾斜俯仰到 150 毫米自動(dòng)化調(diào)整和 4 度傾斜。儀器的抗震隔離系統(tǒng)和緊湊的尺寸，使它非常適合于臺式安裝，使用可選的工作臺使其成為生產(chǎn)線理想的選擇。