MSC/SC1/SC2 旋涂機(jī)涂覆機(jī)

廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的旋涂機(jī)涂覆機(jī)，是一種薄膜制備設(shè)備，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動(dòng)迅速，旋涂均勻，操作簡(jiǎn)單，結(jié)構(gòu)緊湊實(shí)用，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。

旋涂機(jī)原理：

旋涂機(jī) (spin  coater)是一種薄膜制備設(shè)備。 在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，在離心力 作用下，使膠液均勻地涂覆在基片表面上形成均 勻的薄膜。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、 化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片， 基 片 ，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

旋涂機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體器件制備： 制備晶體管、太陽(yáng)能電池、光伏器件等半導(dǎo)體器件的電極、介質(zhì)和敏感層材料。

光電子器件制造： 制備液晶顯示器、OLED  顯示器、LED 器件等光電子器件的薄膜材料。

生物醫(yī)學(xué)傳感器制造：生物醫(yī)學(xué)傳感器的敏感材料，如蛋白質(zhì)、 DNA 和細(xì)胞等。

納米材料制備：制備納米粒子、納米線和納米薄膜等材料，其制備過(guò)程對(duì)材料結(jié)構(gòu)和形貌具有一定的控制作用。

旋涂機(jī)特點(diǎn)：

◆ 采用閉環(huán)控制伺服電機(jī)，數(shù)字式增速信號(hào)反饋，速勻準(zhǔn)確，壽命長(zhǎng)，保證勻膠均勻。

◆ 7寸全彩中英文互動(dòng)操作觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標(biāo)配10個(gè)勻膠梯度階段(速度和時(shí)間梯度設(shè)置),可 選配20個(gè)可編程程序，每個(gè)程序下可設(shè)置10個(gè)勻膠梯度階段，最多100個(gè)階段。

◆ 內(nèi)置水平校準(zhǔn)裝置，最大限度的保證旋涂均勻，可對(duì)大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。

◆ 多重安全保護(hù)

電磁安全開(kāi)關(guān)，蓋子打開(kāi)卡盤(pán)停止，保證安全；

蓋子自鎖功能，防止飛片蓋zi彈開(kāi)傷人；

雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，最大限度保證實(shí)驗(yàn)人員安全。

◆ 樣品托盤(pán)卡口和樣品托盤(pán)之間三重密封安全保護(hù)，有效降低電機(jī)進(jìn)膠的風(fēng)險(xiǎn)。

◆ 一機(jī)兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤(pán)和非真空卡盤(pán)兩種旋涂方式。

◆ 符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤(pán)設(shè)計(jì)，取放樣品更方便。

◆ 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE 材料。旋涂托盤(pán)采用聚丙烯 (NPP-H)  材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運(yùn)行。

◆ 上下雙腔體設(shè)計(jì)，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置。

◆ 可選氮?dú)獯祾?、氮?dú)獗Ｗo(hù)，自動(dòng)滴膠或簡(jiǎn)易滴膠裝置，提供更多的操作便利性。

◆ 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP等多種材料。

旋涂機(jī)技術(shù)參數(shù)：

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