SEM / TEM 主動(dòng)式直流&交流磁場干擾消除器環(huán)境量測及改善解決方案:
場地量測工具:
SC11 Analysis System - Sensor Interface
主動(dòng)式交流磁場干擾消除器:
SC22 Magnetic Field Cancelling System
主動(dòng)式交直流磁場干擾消除器:
SC20 Magnetic Field Cancelling System
主動(dòng)式交流磁場消除器:
SC20FAST Magnetic Field Cancelling System
SC22 是第四代磁場干擾消除系統(tǒng),旨在提高電子顯微鏡和電子光束設(shè)備等對(duì)於磁場對(duì)敏感電子儀器的性能。
典型的 SC22 系統(tǒng)安裝在一部掃描電子顯微鏡如圖一所示。 電纜進(jìn)行一輪,如標(biāo)示紅色(X軸)、綠色(Y軸)和藍(lán)色(Z軸)。 磁場感測器位置在電子光束的底部(物鏡徑位置)。 回路益是由SC22自動(dòng)設(shè)置確定。 系統(tǒng)不會(huì)取消地球的直流磁場,也沒有取消如圖一中掃描電子顯微鏡室房間中的任意位置。 SC22磁場干擾消除系統(tǒng)創(chuàng)造建立一區(qū)域周圍磁場在感測器周圍以抵消減少外界交流干擾。 這一區(qū)域主要取決於漸的環(huán)境和電纜的定位。 SC22控制單元圖圖二所示及其液晶屏上顯示 X、Y和Z欄位與總向量場振幅。 可以選擇特斯拉與高斯單位、RMS& pk pk。 即時(shí)測量的進(jìn)行可以在前面板的上類比電壓水準(zhǔn)的BNC接頭接到示波器示可用。 磁場振幅是不斷監(jiān)控和預(yù)設(shè)值相比較提供 GO/NOGO 欄位品質(zhì)的指示。 液晶顯示面板和感測器上的一個(gè)小綠色指燈指示該欄位是Good確定。 SC22控制項(xiàng),採用及時(shí)監(jiān)督嵌入式微處理器。
請(qǐng)務(wù)必注意機(jī)械振動(dòng)、雜訊和電子光束設(shè)備及接地環(huán)路皆可能產(chǎn)生類似於磁場圖像缺陷。 在SC22不能改善,因?yàn)樗鼈儾皇鞘艽艌龈蓴_源的圖像。