SEM原位解決方案——SEM納米力測量系統(tǒng)
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 北京中顯恒業(yè)儀器儀表有限公司
- 品牌 ZEPTOOLS/澤攸科技
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/9/23 15:22:44
- 訪問次數(shù) 341
產(chǎn)品標簽
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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產(chǎn)品描述
PicoFemto NI-100 SEM納米力測量將納米壓痕儀集成進掃描電鏡中,使用戶可以在掃描電鏡中進行原位納米壓痕研究。該系統(tǒng)由一個三維壓電驅(qū)動的樣品臺和一個納米力測量探針組成。樣品安裝方式靈活多樣,可在三維納米位移臺的驅(qū)動下,達到超過5 mm的準確定位,定位分辨率優(yōu)于100 nm,以使待測量區(qū)域準確對準力探針。
力探針同樣由壓電驅(qū)動,在軸向達到100 um的伸縮長度,位移分辨率優(yōu)于0.25mm。由力傳感器準確測量所施加的力的載荷,可測拉力和壓力。并有不同的最大量程的力傳感器可選配,達到很好的測量效果。通過搭配電學、光學、加熱等模塊,該產(chǎn)品還可以實現(xiàn)包括原位力/熱耦合、力/光耦合、力/電耦合、力/熱/晶體取向耦合等多場耦合研究。