高流量應(yīng)用型超高純度閥，ALD20 系列

ALD20 提供了客戶(hù)對(duì)世偉洛克超高純 ALD 閥所期望的可靠性和性能，同時(shí)還帶來(lái)了先前無(wú)法實(shí)現(xiàn)的溫度穩(wěn)定性和流量可能性。這款閥門(mén)使制造商能夠試驗(yàn)不同的工藝和低蒸汽壓化學(xué)品，以實(shí)現(xiàn)當(dāng)今和未來(lái)開(kāi)發(fā)先進(jìn)技術(shù)所需的均勻氣體沉積。

新型 ALD20 超高純閥專(zhuān)為突破原子層沉積閥技術(shù)的極限而設(shè)計(jì)，從而使流量達(dá)到使用現(xiàn)有 ALD 閥所能達(dá)到的兩到三倍。該閥門(mén)使半導(dǎo)體芯片制造商不僅具有增加產(chǎn)量和提高效率的潛力，而且還可以在不顯著改變工藝的情況下做到這一點(diǎn)。

• ALD20 可以在與現(xiàn)有 ALD 閥相同的占用空間 (1.5 in.) 中提供 1.2 Cv 的流量，從而無(wú)需改裝現(xiàn)有設(shè)備即可實(shí)現(xiàn)更高的性能

• 第二款標(biāo)準(zhǔn) ALD20 閥類(lèi)型具有稍大的占用空間寬度 (1.75 in.)，可產(chǎn)生更高的 1.7 流量系數(shù) — 這也是超高循環(huán)壽命超高純閥目前所能提供的最高流量

• 還可提供定制的流量系數(shù)

ALD20 的設(shè)計(jì)能夠在超高循環(huán)壽命中促進(jìn)一致的操作性能得益于以下幾項(xiàng)主要特點(diǎn)：

• 整個(gè)閥門(mén)和執(zhí)行機(jī)構(gòu)均可浸入 50°F (10°C) 至 392°F (200°C) 的氣箱中，從而無(wú)需在加熱期間隔離執(zhí)行機(jī)構(gòu)。因此，低蒸汽壓氣體保持在有利于理想流量的溫度下，沉積一致性得以改善

• 316L VIM-VAR 不銹鋼或合金 22 閥體材料選項(xiàng)具有增強(qiáng)的耐腐蝕性，可承受腐蝕性日趨嚴(yán)重的介質(zhì)

• 擁有 5 μin. Ra 表面處理的高度拋光型波紋管支持在超高循環(huán)壽命的工藝中進(jìn)行清潔操作，以實(shí)現(xiàn)工藝完整性

• 氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)高速 (<10 ms) 且可重復(fù)的啟動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)精確而一致的流量，從而滿(mǎn)足計(jì)量要求。

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