M-311HG 日本Anelva離子計(jì)熱陰極電離真空計(jì)測(cè)量壓力

日本Anelva離子計(jì)熱陰極電離真空計(jì)測(cè)量壓力 M-311HG 特點(diǎn)介紹

這是傳感器真空計(jì)系列的離子計(jì)。離子計(jì)（熱陰極電離真空計(jì)）具有優(yōu)異的重復(fù)性和線(xiàn)性度，可以在較寬的范圍內(nèi)測(cè)量壓力，使其成為優(yōu)秀的真空計(jì)。

該傳感器采用經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的微型儀表（MG-2I 型）。

10 -7 Pa 至 10 Pa 的寬壓力測(cè)量范圍，使得可以在不犧牲超高真空性能的情況下測(cè)量濺射工藝以外的低真空區(qū)域。

高響應(yīng)模擬輸出

壓力值的模擬信號(hào)輸出確保100毫秒內(nèi)的高響應(yīng)性，也可用于過(guò)程壓力控制。

可根據(jù)應(yīng)用選擇四種發(fā)射電流設(shè)置模式

，例如在高壓區(qū)域使用時(shí)提高燈絲壽命

日本Anelva離子計(jì)熱陰極電離真空計(jì)測(cè)量壓力 M-311HG 規(guī)格參數(shù)

型號(hào)名稱(chēng)離子計(jì)

M-311HG-SP M-311HG-RS

壓力測(cè)量范圍1×10 -7 ~ 10 Pa 

輸入電壓直流20~28V 

能量消耗12W 

模擬輸出0-10V - 

設(shè)定點(diǎn)2點(diǎn)繼電器輸出 

界面-  RS485 

輸入/輸出連接器 Dsub-9（男） 

最大電纜長(zhǎng)度 200米（1平方毫米） 

工作溫度限制 5～50℃ 

儲(chǔ)存溫度范圍 -20至70℃ 

傳感器型號(hào)名稱(chēng)微型BA規(guī)（MG-2I系列） 

傳感器材料（主要部分）燈絲：Y 2 O 3 /Ir，外殼：SUS304 

外形尺寸（毫米）110×70×50