6300型 美國Entegris流量控制閥耐腐蝕用高純度應(yīng)用

美國Entegris流量控制閥耐腐蝕用高純度應(yīng)用 Entegris 6300型 特點介紹

 PTFE 接液部件具有出色的耐腐蝕性，適用于高純度應(yīng)用

C v值 0.16、0.68、1.0、2.80

兩個隔膜配置提高了氣密性并防止污染。

閥門驅(qū)動采用 Entegris 的先進算法設(shè)計來控制所需的閥門位置

優(yōu)化的閥座和隔膜設(shè)計最大限度地減少了死體積和流體剪切力，實現(xiàn)從全閉到全開的可靠控制。

緊湊的設(shè)計即使在有限的空間內(nèi)也能安裝

接液部件由 PFA 和 PTFE 制成，也可用于高純度應(yīng)用

對應(yīng)CV值5.6、10

含有耐腐蝕的非金屬成分

采用耐用隔膜制成，可提供緊密密封并防止污染

優(yōu)化的閥座和隔膜設(shè)計最大限度地減少死體積和流體剪切

緊湊的設(shè)計即使在有限的空間內(nèi)也能安裝

美國Entegris流量控制閥耐腐蝕用高純度應(yīng)用 Entegris 6300型 規(guī)格參數(shù)

材料 接液部件 主體，PFA 

隔膜，聚四氟乙烯 

非接液部件 聚丙烯、氟橡膠、PVDF 

響應(yīng)時間 不到 2 秒即可從 5% 升至 95% 全量程 

壓力范圍* -100 至 +414 kPa 

耐壓性 689.5千帕 

流體溫度** 10°～65°C 

電源 24伏直流±10% 

設(shè)定點輸入信號 4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC；還可提供用于閥門歸位的輸入信號