化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>環(huán)境監(jiān)測儀器>其它環(huán)境監(jiān)測儀器>其它環(huán)境儀器>SUPEC 2050 半導(dǎo)體AMC綜合監(jiān)測系統(tǒng)
SUPEC 2050 半導(dǎo)體AMC綜合監(jiān)測系統(tǒng)
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 聚光科技(杭州)股份有限公司
- 品牌 EXPEC/譜育科技
- 型號 SUPEC 2050
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/6/19 14:22:37
- 訪問次數(shù) 289
產(chǎn)品標(biāo)簽
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,綜合 |
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產(chǎn)品概述
SUPEC 2050半導(dǎo)體AMC綜合監(jiān)測系統(tǒng)由采樣預(yù)處理子系統(tǒng)、氣體監(jiān)測子系統(tǒng)以及輔助設(shè)備和數(shù)據(jù)采集與處理子系統(tǒng)等構(gòu)成,如下圖所示。
采樣預(yù)處理子系統(tǒng)由多路樣氣傳輸管、采樣泵和分布式多通道采樣儀組成,可以對多個點(diǎn)位進(jìn)行不間斷實(shí)時采樣,并通過管路切換實(shí)現(xiàn)不同采樣點(diǎn)樣氣的循環(huán)監(jiān)測。氣體監(jiān)測子系統(tǒng)由多個分析儀組成,可以根據(jù)不同的監(jiān)測需求進(jìn)行定制化的搭配,實(shí)現(xiàn)不同物質(zhì)的在線監(jiān)測。
輔助系統(tǒng)由集成機(jī)柜和校準(zhǔn)單元組成,可以保證整套系統(tǒng)的正常運(yùn)行,校準(zhǔn)單元可以定期對系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn),保證監(jiān)測數(shù)據(jù)的穩(wěn)定和準(zhǔn)確。
數(shù)據(jù)采集與處理子系統(tǒng)可以監(jiān)控查詢所有測量信息和系統(tǒng)工作狀態(tài)信息,并將監(jiān)測數(shù)據(jù)傳輸至企業(yè)的中控平臺。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1.采樣覆蓋面廣:多點(diǎn)位同時采樣,覆蓋面廣,成本低,可支持200m點(diǎn)位監(jiān)測,多點(diǎn)位形成網(wǎng)格化分析體系。
2.輪巡速度快:系統(tǒng)具備預(yù)抽功能,節(jié)約管路傳輸?shù)却龝r間。
3.自由配置通道數(shù)量:系統(tǒng)可擴(kuò)展,可自由配置采樣點(diǎn)位數(shù)量。
4.樣品間干擾小:具備反吹功能.確保各路樣品互不影響,低殘留。
5.樣品超標(biāo)留樣:可搭配超標(biāo)留樣,系統(tǒng)可搭配蘇瑪罐留樣系統(tǒng),當(dāng)點(diǎn)位污染超標(biāo)時自動留樣。
2.輪巡速度快:系統(tǒng)具備預(yù)抽功能,節(jié)約管路傳輸?shù)却龝r間。
3.自由配置通道數(shù)量:系統(tǒng)可擴(kuò)展,可自由配置采樣點(diǎn)位數(shù)量。
4.樣品間干擾小:具備反吹功能.確保各路樣品互不影響,低殘留。
5.樣品超標(biāo)留樣:可搭配超標(biāo)留樣,系統(tǒng)可搭配蘇瑪罐留樣系統(tǒng),當(dāng)點(diǎn)位污染超標(biāo)時自動留樣。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè)檢測