XM 平移臺(tái) 直接驅(qū)動(dòng)線性電機(jī)位移臺(tái)

Newport的XM 系列超高性能線性平移臺(tái)可提供持續(xù)、可靠的動(dòng)力性能，運(yùn)動(dòng)精度可以達(dá)到 1 nm。如此強(qiáng)大的定位能力使其成為各種要求苛刻、突破性應(yīng)用的理想選擇。

XMS50-S超性能線性位移臺(tái)具有的動(dòng)態(tài)性能，能夠在50mm的行程范圍內(nèi)持續(xù)、可靠地移動(dòng)至1nm。

創(chuàng)新且緊湊XM級在最復(fù)雜的軌跡上支持魯棒的、可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)。XM性能采用精密設(shè)計(jì)的部件和設(shè)計(jì)，大限度地減少磨損和電機(jī)發(fā)熱。

XM-S位移臺(tái)是一種超高性能的解決方案，適用于激光加工、半導(dǎo)體晶片加工、傳感器測試和校準(zhǔn)、超精密裝配以及其他具有高動(dòng)態(tài)響應(yīng)的掃描應(yīng)用。XMS-S級生產(chǎn)線旨在與XPS-D控制器一起使用。 需要相關(guān)的驅(qū)動(dòng)模塊和電纜套件，所有-S位移臺(tái)必須單獨(dú)購買。

• 性能超高，最小增量運(yùn)動(dòng)為 1 nm

• 非接觸直接驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，精度超高、動(dòng)態(tài)性能優(yōu)異且操作可靠

• 亞納米級高精度玻璃標(biāo)度編碼器，重復(fù)精度為 80 nm

• 超大型無鐵心高效率線性電機(jī)可大限度地減少發(fā)熱

• 抗蠕變交叉滾子軸承可確保無波紋運(yùn)動(dòng)

• 可選花崗巖底座可確保超平穩(wěn)安裝條件以實(shí)現(xiàn)優(yōu)異性能