化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專(zhuān)用儀器>熱工藝設(shè)備/熱處理設(shè)備>退火爐>Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)
Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 北方華創(chuàng)
- 型號(hào) Sitara TA230A
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2024/9/5 10:48:12
- 訪問(wèn)次數(shù) 338
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1. 產(chǎn)品概述
Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝。
2. 設(shè)備用途/原理
Sitara TA230A 12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)，適用于 260-1200℃快速熱處理工藝，高精度溫度控制，提供優(yōu)異工藝，低成本，高產(chǎn)能。
3. 設(shè)備特點(diǎn)
晶圓尺寸 12 英寸，適用工藝 快速熱退火、快速熱氧化、金屬硅化。適用域 科研、集成電路。此外，12英寸單片快速熱退火系統(tǒng)的應(yīng)用還涉及到泛半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)線(xiàn)、中試線(xiàn)、生產(chǎn)線(xiàn)裝備及工藝和廠務(wù)技術(shù)服務(wù)等領(lǐng)域，展示了其在半導(dǎo)體制造中的重要角色。這種系統(tǒng)的發(fā)展和應(yīng)用，對(duì)于推動(dòng)半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步和促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有重要意義。?
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