THEORIS A302L 12英寸立式低溫退火爐
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 北方華創(chuàng)
- 型號 THEORIS A302L
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/5 15:39:22
- 訪問次數(shù) 450
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1. 產(chǎn)品概述
THEORIS A302L 12英寸立式低溫退火爐,優(yōu)良的壓力控制系統(tǒng)。
2. 設(shè)備用途/原理
THEORIS A302L 12英寸立式低溫退火爐,優(yōu)良的壓力控制系統(tǒng),高精度溫度場控制技術(shù),優(yōu)良的顆??刂萍夹g(shù),可靠的氫氣工藝能力技術(shù),高產(chǎn)能。
3. 設(shè)備特點
晶圓尺寸 12 英寸,適用材料硅。適用工藝 低壓合金、金屬 / 非金屬退火、薄片退火。適用域 新興應(yīng)用、集成電路、優(yōu)良封裝。退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設(shè)計的??梢约訜峋约せ顡诫s劑,將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態(tài),修復(fù)注入的損傷,移動摻雜劑或?qū)诫s劑從一個薄膜轉(zhuǎn)移到另一個薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。
退火爐可以集成到其他爐子處理步驟中,例如氧化,或者可以自己處理。退火爐是由專門為加熱半導(dǎo)體晶片而設(shè)計的設(shè)備完成的。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐,超節(jié)能結(jié)構(gòu),采用纖維結(jié)構(gòu),節(jié)電60%。