ei系列 Batch式高真空蒸發(fā)設(shè)備
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
- 型號 ei系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/9/4 15:42:25
- 訪問次數(shù) 263
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 操作壓力 | 其他 | 結(jié)構(gòu)形式 | 立式 |
|---|---|---|---|
| 外形 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
| 運動狀況 | 其他 |
1. 產(chǎn)品概述
Batch式高真空蒸發(fā)設(shè)備ei系列是可對應(yīng)在基板上成金屬膜或氧化物膜的設(shè)備。可通過操作面板實現(xiàn)抽真空、成膜等作業(yè)內(nèi)容的集中自動化操作，適用于研究開發(fā)及少量生產(chǎn)。
2. 設(shè)備用途/原理
Power Device等化合物相關(guān)。LED、LD、高速device。各種實驗用。其他各種電子部件。
3. 設(shè)備特點
可搭載多樣蒸發(fā)源（EB、電阻式、EB+電阻式）。對應(yīng)不同制程可選多種基板holder（lift-off、行星式、衛(wèi)星式等）。φ2 in? 6 in基板、矩形基板、Si、化合物、glass、陶瓷燈各種基板對應(yīng)。液晶觸控板集中現(xiàn)實操作。集成電腦擁有優(yōu)異的操作性和性能（recipe功能、data-logging、maintenance assistant功能）。
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