GYS-2Z/3Z/4Z系列 質(zhì)子供氣系統(tǒng)

GYS-2Z/3Z/4Z是一款低成本的流量計控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜最大可以承重1000Lbs，與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀本示都集中在一個7寸的LCD觸摸屏上，便于操控的同時，可實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料接種CVD實驗和各種材料的退火實驗。

基礎(chǔ)參數(shù)

? 浮子流量計量程: 10-100mL/min 、16-160mL/min、25-250mL/min；

? 精度:4%

? 壓力表量程:-0.1-0.15MPa

? 通氣管道: φ6.35mm的聚四氟管

? 選配：浮子流量計量程可選配，5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制。

? 適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)；

? 尤其方便多種氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管；

? 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便；

? 顯示流量準確，可有效控制氣體的消耗量；

? 設(shè)備底部有滾動輪，方便移動使用方便，無需通電。

? 內(nèi)置一個不銹鋼混氣罐，可更好的混合氣體

? 混氣罐尺寸:直徑76*長154mm

? 背面的進氣與出氣口均為φ6.35的卡套接頭，進氣口通過四氟管連接氣瓶，出氣口通過四氟管連接到設(shè)備的進氣口；

? 兩個通道氣體進入混氣罐混氣，一個氣體通道獨立；

? 前面板的四個不銹鋼針閥控制氣體的進出，獨立通道的進出氣不受針閥控制。

? 外形尺寸:長610mm*寬610mm*高710mm

? 重量：約45Kg