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UV400 GaN基外延片測溫儀

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 上海明策電子科技有限公司
  • 品牌 Advanced Energy/優(yōu)儀
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2024/11/28 14:21:33
  • 訪問次數(shù) 786

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上海明策電子科技有限公司定位于檢測方案服務(wù)商。為國內(nèi)大量有檢測需求的用戶提供一定的售前試用、免費(fèi)測試,提供專業(yè)的測試解決方案、儀器設(shè)備,以及周到的售后服務(wù)。

公司座落于有東方明珠之稱的大都市上海,總部辦公室位于上海松江區(qū)漕河涇水木園經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)。還在多個城市設(shè)立了本地售后服務(wù)中心、維修中心。

明策致力于為醫(yī)療器械、先進(jìn)材料生產(chǎn)過程、環(huán)保材料檢測、計(jì)量校準(zhǔn)、高速運(yùn)動研究等行業(yè)提供專業(yè)的測試解決方案,引進(jìn)先進(jìn)的儀器設(shè)備。方案涉及紅外測溫、高清成像、材料研究、標(biāo)定校準(zhǔn)、系統(tǒng)集成。原理涉及光學(xué)近、中、遠(yuǎn)紅外波段、可見光波段、太赫茲波段、激光波段等。

遵循服務(wù)至上的理念,為用戶測試任務(wù)創(chuàng)新增值、提升用戶體驗(yàn)度是明策全體人員的價值觀,讓更多的生產(chǎn)、工程、與試驗(yàn)人員使用我們的儀器與服務(wù),成為行業(yè)內(nèi)具備一定影響力的品牌,是公司長期的愿景。

我們具備專業(yè)的技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì),高效的管理協(xié)作。公司采用先進(jìn)的云數(shù)據(jù)系統(tǒng),為客戶、合作伙伴提供全面有效的專業(yè)服務(wù)。為售前、售中、售后規(guī)范化運(yùn)作提供保障。

明策科技為客戶不僅提供產(chǎn)品*,還提供本地測試服務(wù)、售前服務(wù)、售后安裝調(diào)試服務(wù)、維修服務(wù)、校準(zhǔn)服務(wù)等。明策科技提供的解決方案深入多個行業(yè)領(lǐng)域,獲得用戶高度認(rèn)可。我們不僅提供儀器與方案,更有現(xiàn)場專業(yè)服務(wù)!

 

 

 

高速攝像機(jī),紅外測溫儀,紅外熱像儀,黑體爐

價格區(qū)間 面議 應(yīng)用領(lǐng)域 電子,交通,航天,汽車,電氣

UV400 GaN基外延片測溫儀詳細(xì)說明

UV 400的前身TR 2100是*采用集成反射計(jì)(2001年)的高溫計(jì),為使用光纖鏡頭和950 nm激光實(shí)時測量發(fā)射率建立了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。藍(lán)寶石光管傳感器和實(shí)時的黑體校準(zhǔn)源取得的研究進(jìn)展提供了完整的溫度測量解決方案。

UV 400和UVR 400系統(tǒng)是專門為GaN基MOCVD外延工藝開發(fā)的下一代溫度傳感器。這些傳感器可以直接測量晶圓表面溫度,而非傳統(tǒng)的基座溫度。UVR 400較UV 400 增加了一個635 nm,0.5 kHz測量速度的反射率測量儀,可測量沉積厚度.

這些系統(tǒng)正在為 LED 生產(chǎn)過程設(shè)定一個新的標(biāo)準(zhǔn),其結(jié)果顯示工藝溫度和終產(chǎn)品波長之間存在可靠的相關(guān)性.這種直接測量的方法可以更精確地控制晶片溫度,從而提高成品率

主要特點(diǎn)

  • 使用紫外波段直接測量GaN層溫度;

  • 使用脈沖光源實(shí)時快速測量發(fā)射率;

  • 使用真正的光計(jì)數(shù)儀器將測量中的噪聲降至低;

  • 防止由于延遲采樣(無快門打開和關(guān)閉)而造成的數(shù)據(jù)偏差

  • 測溫范圍:650 至 1300℃

  • 重復(fù)精度 0.01 °C (see TN-828)


典型應(yīng)用

  • GaN 基 MOCVD 外延工藝


技術(shù)指標(biāo)

測量參數(shù)

溫度范圍:

650 至 1300°C

子溫度區(qū)間:

溫度范圍內(nèi)任意可調(diào),小跨度 51°C

響應(yīng)波長:

383 至 410 nm

探測器:

光電倍增管, 暗計(jì)數(shù)范圍小于原始值的 1% @ 650°C

兩次測量之間的等待時間:

少于 1 μs

分辨率:

軟件顯示0.1℃;
模擬輸出不超過設(shè)定范圍的 0.025%

發(fā)射率 ε:

0.100 至 1.000 調(diào)整步幅 0.001

透射率 τ:

0.100 至 1.000 調(diào)整步幅 0.001

積分時間;

少8ms

測量不確定度:
(ε = 1, t90 = 1 s, Thous. = 28°C)

小于 1000°C, 3°C;
大于 1000°C, 0.3%;

重復(fù)性:
(ε = 1, t90 = 1 s, Thous. = 28°C)
0.1% 或 0.1°C
電參數(shù)
功耗:大5W
負(fù)載(模擬輸出):0 至 500 ?
隔離:電源,模擬輸出,數(shù)字接口彼此隔離
環(huán)境參數(shù)
防護(hù)等級:IP 40  IEC 60529
真空和氣體:設(shè)備可承受氮?dú)夂驼婵眨ǖ陀?0 mbar),外殼有氣孔
安裝位置:任意
環(huán)境溫度:10 至 38 °C
存儲溫度:-20 至 50 °C
相對濕度:非凝露
重量:2.5 kg
外殼:發(fā)黑氧化鋁
CE 認(rèn)證:根據(jù)歐盟有關(guān)電磁抗擾度的指令
接口

模擬輸出:

0 到 20 mA 或 4 到 20 mA, 線性

數(shù)字輸出:RS485可尋址(半雙工)
波特率:1200 至 38400
大值存儲:內(nèi)置單存儲器或雙存儲器
tclear 可調(diào)(off; 0.01 s; 0.05 s; 0.25 s; 1 s; 5 s; 25 s),
反射率測試(僅 UVR400)
測試范圍:0 至 100%
速率:1000 Hz
光源:激光二極管
測量波長635 nm ±5 nm
測量不確定度:測量范圍的 2%
重復(fù)精度:測量范圍的 5%
晶圓片允許傾斜公差:0.3°
鏡頭工作距離 a:100mm
模擬輸出:0到20 mA 或 4到20 mA ;可切換
負(fù)載:0 到 500 Ohm

UV400 GaN基外延片測溫儀






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