特氣柜
| 參考價(jià) | ￥ 10000 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 江蘇科航流體科技有限公司
- 品牌 KHLOK
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 南京
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/7/11 13:32:21
- 訪問(wèn)次數(shù) 450
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,石油,電子,制藥 |
|---|
電子特氣管道系統(tǒng)，簡(jiǎn)稱特氣系統(tǒng)由存儲(chǔ)、輸送、分配、控制四類組成，其中“存儲(chǔ)”是指氣源部分（特氣柜GC），“輸送”指配管方面（一般用雙套管），“分配”指二次配部分（氣體分配柜VMB），“控制”指監(jiān)督控制部分（氣體管理系統(tǒng)GMS）。是一種廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、集成電路、光纖、太陽(yáng)能電池等微電子行業(yè)的氣路系統(tǒng)。
全自動(dòng)GC（特氣柜）按功能設(shè)計(jì)可分為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。
單鋼的設(shè)計(jì)通常使用于研究機(jī)構(gòu)或?qū)嶒?yàn)室等。工藝制程尚未有量產(chǎn)，氣體使用量小，現(xiàn)場(chǎng)可隨時(shí)協(xié)調(diào)停機(jī)進(jìn)行鋼瓶之更換，其優(yōu)點(diǎn)節(jié)省空間、成本低、但需透過(guò)日常之管理與協(xié)調(diào)以免中斷工藝制程造成損失。
雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠，工藝制程不允許停機(jī)情況，當(dāng)一支鋼瓶使用完后，另一支備用鋼瓶會(huì)自動(dòng)轉(zhuǎn)為供氣，此兩種形式最大的差別是在吹掃管路的高純氮?dú)馐且凿撈炕驈S務(wù)端供應(yīng)，當(dāng)吹掃用的高純氮?dú)饨y(tǒng)一由廠務(wù)端來(lái)供應(yīng)時(shí)，所有特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)不管是否相容，全部連接到同一個(gè)供應(yīng)源，會(huì)有較高的風(fēng)險(xiǎn)值；萬(wàn)一中央供應(yīng)系統(tǒng)的高純氮?dú)庵袛啵瘓?bào)系統(tǒng)又損壞，恰巧兩種不相容的氣體同時(shí)使用吹掃，此時(shí)極有可能發(fā)生爆炸的事件發(fā)生，相同性質(zhì)可使用同一瓶鋼瓶來(lái)吹掃增加的成本及空間非常有限，是一種非常好的應(yīng)變方式。
特氣系統(tǒng)的GC特氣柜/GR特氣架的設(shè)置須符合下列規(guī)定：
特氣柜是專為腐性，毒性等危險(xiǎn)性氣體供應(yīng)而設(shè)計(jì)的供應(yīng)系統(tǒng)，主材選用SS316L，基本功能包括自動(dòng)吹掃，自動(dòng)切換，以及自動(dòng)切斷（當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí)）。在制造業(yè)的范疇內(nèi)，特別是涉及到半導(dǎo)體與高精度化學(xué)制品的領(lǐng)域，特種氣體（特氣）扮演著至關(guān)重要的基礎(chǔ)材料角色。確保這些氣體穩(wěn)定、安全地供給到生產(chǎn)線，是維持高效生產(chǎn)的關(guān)鍵。特氣管道工程是一種危險(xiǎn)性很高的工程，是保證有著易燃易爆、腐蝕、劇毒等性質(zhì)的特種氣體的安全穩(wěn)定輸送的氣體供應(yīng)系統(tǒng)，所以，為了用氣安全，在安裝特氣系統(tǒng)時(shí)，要嚴(yán)格遵守其中的一些規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)。
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