探針式輪廓儀

        型號：DektakXT

        DektakXT  探針式輪廓儀采用革命性的臺式設計，可實現(xiàn)4Å（0.4nm）的優(yōu)異重復性，掃描速度可提高40%。探針式輪廓儀性能的這一重大突破是Dektak  五十多年創(chuàng)新和地位的。DektakXT結合了行業(yè)的技術和設計，可提供高性能、易用性以及價值，實現(xiàn)從研發(fā)到質量控制的更好過程監(jiān)控。DektakXT的技術突破為微電子、半導體、太陽能、高亮度LED、醫(yī)療和材料科學行業(yè)的關鍵尺寸的納米級表面測量提供支持。

┃ 設備特點

• 臺階高度重復性優(yōu)于4Å

• Single-arch拱型結構設計，穩(wěn)定性高

• “智能電子器件”設立了新低噪音基準

• 新硬件配置使數(shù)據(jù)采集時間縮短40%

• 64-bit多核處理器，Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件，使數(shù)據(jù)分析速度提高了10倍

• 針尖自動校準系統(tǒng)，讓用戶輕松更換針尖

• 單傳感器設計，提供單一平面上低作用力和寬掃描范圍