室溫探針臺、低溫探針臺、全自動探針臺、半自動探針臺、科研超導磁體系統(tǒng)、液氦&液氮低溫恒溫器、閉循環(huán)低溫恒溫器、霍爾效應測試系統(tǒng)、三維磁場測試平臺、溫控儀等產品。
室溫永磁鐵探針臺為半導體芯片的電參數測試提供一個測試平臺，外接不同的測量儀器，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數檢測。另外，可用于測量半導體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數等重要的霍爾參數。在室溫下對芯片、晶圓和器件進行非破壞測試。
PSPM系列室溫永磁體探針臺是一款專門針對室溫垂直磁場電測環(huán)境開發(fā)的探針臺，提供0.5T垂直磁場，能夠對2寸、4寸、6寸、8寸晶圓片進行重復性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設備可以完成對器件的電學特性測量、參數測量、DC測量、RF測量和霍爾測量。
特點
• 樣品座可以放置8英寸的晶圓樣品，通過移動樣品座下面的滑臺，可以實現X-Y軸±100mm的移動行程，并且樣品座本身可以進行三維上的精細調節(jié)，使得樣品測試和換樣更加便捷。
• 探針臂底座采用磁鐵吸附固定，可使探針在X-Y-Z三個維度上進行調節(jié)，配合樣品座位移調節(jié)，可滿足探針快速扎到8英寸樣品的任意位置
• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電性小，漏電流在100fA以內，探針臂內置線纜，避免雜亂的走線
• 探針采用針套固定，只有針尖裸露在外，減小漏電
• 永磁鐵采用電動控制，可以實現前進后退翻轉運動
• 永磁鐵支架與探針臺采用分體隔離支架，在磁體運動時避免振動傳導到樣品上
• 樣品固定方式采用多孔分區(qū)吸附，有外圈、內圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道，可吸附固定1mm*1mm樣品
型號分類：
| 型號 | PSPM-2 | PSPM-4 | PSPM-6 | PSPM-8 |
| 樣品座尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 |
參數和指標：
| 樣品座 | |
| 卡盤尺寸： | 2/4/6/8英寸，可定制 |
| 材質： | 無氧銅鍍金 |
| 樣品固定方式： | 多孔分區(qū)吸附有外圈、內圈和中間三個單獨控制的氣體吸附通道 |
| 滑臺 | |
| X-Y移動行程： | 2/4寸: X-Y軸±50mm；6/8寸: X-Y軸 ±100mm |
| 讀數精度： | 10μm |
| 探針臂 | |
| X-Y-Z移動行程： | X-13mm，Y-13mm，Z-13mm |
| 旋轉度： | 360度自由旋轉 |
| 移動精度： | 10μm |
| 探針臂數量： | 可安裝6個探針臂（左右兩邊各3個） |
| 電學線纜： | 三同軸線纜 |
| 漏電流： | 100fA |
| 探針類型： | 直流探針 |
| 光學系統(tǒng) | |
| 顯微鏡放大倍數： | 10-180倍 |
| 顯微鏡工作距離： | 90-100mm |
| CCD相機分辨率： | 3800萬像素 |
| 永磁鐵組件 | |
| 磁場大?。?br style="margin: 0px; padding: 0px; transition: all 0.5s ease 0s; box-sizing: border-box; line-height: 38px !important;"/> | 0.5T |
| 磁鐵間距： | 30mm |
| 磁鐵極面尺寸： | 50mm |
| 可加選件 | |
| 光學平臺/直流探針/微波探針/樣品座/屏蔽箱/光纖 | |
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