SPECTOR 離子束濺射 （IBD） 光學(xué)鍍膜系統(tǒng)

的交鑰匙制造 使用 Veeco 的 SPECTOR® 離子束濺射 （IBD） 光學(xué)鍍膜系統(tǒng)，實現(xiàn)更高的精度和薄膜工藝靈活性。SPECTOR IBD 光學(xué)鍍膜系統(tǒng)具有多種夾具、目標(biāo)組件和光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)選項，可滿足幾乎所有光學(xué)薄膜制造應(yīng)用的產(chǎn)量和器件性能要求。

SPECTOR 雙離子束濺射系統(tǒng)

• 可互換的平臺可容納行星式、簡單旋轉(zhuǎn)或翻轉(zhuǎn)式夾具

• 為電信應(yīng)用提供 200、100 和 50 GHz DWDM 濾波器的高產(chǎn)量

• 滿足嚴格的器件規(guī)格，如窄通帶、寬阻帶、陡斜率和低插入損耗

• 生產(chǎn)增透膜、復(fù)雜的非四分之一波鍍膜和超低損耗激光反射鏡

• 制造具有個位數(shù) ppm 水平的吸收和散射的鏡子

• 高能工藝提供更好的堆積密度和低針孔密度

• 低壓操作提供高薄膜純度

  
  

SOURCERER系統(tǒng)管理器具有的圖形界面，具有實時和動畫運動功能，與市場上任何其他離子束系統(tǒng)控制包相比，SOURCERER®系統(tǒng)管理器提供了更多的控制和靈活性。使用簡單的命令或易于導(dǎo)入的薄膜設(shè)計，工藝工程師可以開發(fā)先進的自動化配方，開始工藝運行，并在運行完成后返回。結(jié)合 Veeco 的工藝知識和響應(yīng)迅速的全球服務(wù)組織，我們在售前和售后都設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。