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SPECTOR 離子束濺射 (IBD) 光學(xué)鍍膜系統(tǒng)

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IBD

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。








冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

的交鑰匙制造 使用 Veeco 的 SPECTOR® 離子束濺射 (IBD) 光學(xué)鍍膜系統(tǒng),實現(xiàn)更高的精度和薄膜工藝靈活性。SPECTOR IBD 光學(xué)鍍膜系統(tǒng)具有多種夾具、目標(biāo)組件和光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng)選項,可滿足幾乎所有光學(xué)薄膜制造應(yīng)用的產(chǎn)量和器件性能要求。

SPECTOR 雙離子束濺射系統(tǒng)

  • 可互換的平臺可容納行星式、簡單旋轉(zhuǎn)或翻轉(zhuǎn)式夾具

  • 為電信應(yīng)用提供 200、100 和 50 GHz DWDM 濾波器的高產(chǎn)量

  • 滿足嚴格的器件規(guī)格,如窄通帶、寬阻帶、陡斜率和低插入損耗

  • 生產(chǎn)增透膜、復(fù)雜的非四分之一波鍍膜和超低損耗激光反射鏡

  • 制造具有個位數(shù) ppm 水平的吸收和散射的鏡子

  • 高能工藝提供更好的堆積密度和低針孔密度

  • 低壓操作提供高薄膜純度


SOURCERER系統(tǒng)管理器具有的圖形界面,具有實時和動畫運動功能,與市場上任何其他離子束系統(tǒng)控制包相比,SOURCERER®系統(tǒng)管理器提供了更多的控制和靈活性。使用簡單的命令或易于導(dǎo)入的薄膜設(shè)計,工藝工程師可以開發(fā)先進的自動化配方,開始工藝運行,并在運行完成后返回。結(jié)合 Veeco 的工藝知識和響應(yīng)迅速的全球服務(wù)組織,我們在售前和售后都設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。




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