LSA 101 激光退火爐

Veeco 的 LSA101 系統(tǒng)安裝在 IDM 和晶圓代工廠，是大批量制造 40nm 至 14nm 節(jié)點(diǎn)的先進(jìn)邏輯器件的技術(shù)。LSA 101 的掃描技術(shù)基于 Veeco 的可定制 Unity 平臺(tái)™構(gòu)建，在均勻性和低應(yīng)力處理方面具有根本優(yōu)勢(shì)。LSA101 系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵的毫秒級(jí)退火應(yīng)用，使客戶能夠保持精確、有針對(duì)性的高加工溫度，從而提高設(shè)備性能、降低泄漏和提高產(chǎn)量。

標(biāo)準(zhǔn) LSA101 配置利用單束窄激光束將晶圓表面從襯底溫度加熱到峰值退火溫度。為了應(yīng)對(duì)日益復(fù)雜的工藝需求，Veeco 開發(fā)了一種雙光束技術(shù)，該技術(shù)擴(kuò)大了非熔融激光退火的應(yīng)用空間，并具有第二個(gè)低功率激光束以實(shí)現(xiàn)低溫加工。當(dāng)使用雙光束時(shí)，會(huì)結(jié)合第二個(gè)更寬的激光束來預(yù)熱晶圓。雙光束系統(tǒng)在調(diào)節(jié)溫度和應(yīng)力分布方面提供了靈活性。