MFT-20 日本HORIBA堀場 質(zhì)量流量計檢查器

日本HORIBA堀場 質(zhì)量流量計檢查器

日本HORIBA堀場 質(zhì)量流量計檢查器

在整個流量范圍內(nèi)（上升、下降、設定值到設定值）響應時間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復性 (±0.15 %SP)

兼容環(huán)境溫度范圍廣（15-60℃）

0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度

提供了過程優(yōu)化和靈活性。

小于500毫秒的高速響應

級別，

尺寸僅為其他公司的 1/20，傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設備中

該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個四極桿部分，具有的結構，盡管其尺寸最小，但仍實現(xiàn)了高靈敏度。

低真空（高壓）操作

當測量總壓力高達 0.5 Pa（對于 2-65 m/z 傳感器）時，無需準備額外的差壓泵系統(tǒng)。

用戶可更換的傳感器

校準過濾器可以在現(xiàn)場輕松更換，無需拆卸設備。

一臺安裝了專用通信

軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺設備。它還具有適合設備集成的模擬輸入/輸出。

用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發(fā)的，可實現(xiàn) QL-SG02 的控制、數(shù)據(jù)采集、可視化和分析。

這是質(zhì)量流量計專用的監(jiān)控單元。

業(yè)務部門：半導體

產(chǎn)品類別：流體控制

制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.

特征

規(guī)格

流量報警輸出功能 外部輸出：集電極開路

流量信號輸出：0~5VDC

流量顯示輸出功能

輸入電源：AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX

尺寸：48(W) x 96(H) x 170(D)mm（不包括突出部分）

適用標準 安全標準：符合 CE 標志、符合 EMC 指令、符合 FCC 環(huán)境兼容性：符合 RoHS 指令

兼容數(shù)字/模擬通信模型