LS晶圓清洗APM-HE30AN0H中空軸伺服電機

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LS晶圓清洗APM-HE30AN0H中空軸伺服電機

一、Spinner  Motor中空軸電機的特點

1、中空軸高速電機結構：額定轉速：5000rpm，最大轉速6000-8000rpm

2、超快的加速/減速時間；

3、低噪音、低震動、軸端跳動系數(shù)低至；

4、軸孔采用真空空心軸設計，軸端的設計，確保chunk運行平穩(wěn)

LS晶圓清洗APM-HE30AN0H中空軸伺服電機

韓國LS Spinner馬達，空心軸伺服電機應用于半導體晶圓電鍍，涂膠、去膠、顯影、清洗、固晶、蝕刻、晶圓鍵合、封測等設備中。部分型號如下：

1；中空軸伺服電機

100W  APM-HB01AAH       增量式編碼器

200W  APM-HB02AAH       增量式編碼器

400W  APM-HB04AAH       增量式編碼器

900W  APM-HE09ACH        增量式編碼器        

900W  APM-HE09ACH-TA   增量式編碼器

1.5KW APM-HE15ACH        增量式編碼器        

APM-HE15AN0H-ZC01       單圈20位編碼器

3KW    APM-HE30ACH        增量式編碼器      

APM-HE30AN0H-ZC01       單圈20位編碼器

2;Spinner馬達

250W  APM-HB03HBH-CD      

4寸 6寸 涂膠顯影，清洗設備應用。

250W  APM-HB03HBH-CD1    

4寸 6寸 涂膠顯影，清洗設備應用。

250W  APM-HB03HBH-GY

4寸 6寸 涂膠顯影，清洗設備應用。

250W  APM-HB03HBH-SH01

4寸 6寸 涂膠顯影，清洗設備應用。

600W  APM-HC06HBH

6寸 8寸 涂膠顯影，清洗設備應用。      

650W  APM-HC06ACH-ZC03  

8寸 12寸 涂膠顯影，清洗設備應用。

750W  APM-HC07ACH-WN01

8寸 12寸 涂膠顯影，清洗設備應用。

750W  APM-HC07HCH-100     8寸 12寸 涂膠顯影，清洗設備應用。

1.1KW APM-HE11DCH      防腐蝕，8寸 12寸 涂膠顯影，清洗設備應用。

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