GIGAbatch 批量晶圓處理等離子系統(tǒng)

1. GIGAbatch 310M等離子系統(tǒng)：

GIGAbatch 310M等離子系統(tǒng) 是 GIGAbatch 產(chǎn)品系列中的入門型號(hào)。作為小的系統(tǒng)，GIGAbatch 310M具有較高的性價(jià)比，憑借先進(jìn)的等離子技術(shù)以及經(jīng)濟(jì)實(shí)惠等優(yōu)點(diǎn)，它是實(shí)驗(yàn)室和大學(xué)的理想之選。然而，即使是基礎(chǔ)版本，它也可用于使用 MFC 氣體管道和 600 W 發(fā)生器，執(zhí)行手動(dòng)和自動(dòng)等離子處理?；A(chǔ)版本的桌面型；為第二個(gè)氣體管道提供空間。腔室多可容納 25 片直徑為 150 毫米的晶圓，可以使用石英舟批量處理，或使用帶有特殊裝載裝置進(jìn)行單片處理。各種個(gè)性化配置的配件：具有特殊密封材料的配置，帶冷卻板和循環(huán)冷卻器的腔室可用于從晶圓上去除 SU-8。

2. GIGAbatch 360/380M等離子系統(tǒng)：

GIGAbatch 360M 和 380M等離子系統(tǒng)，是為滿足低要求的小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。 GIGAbatch 360M版本有一個(gè)直徑為 245 mm的工藝室，多可容納 50 片直徑為 150 mm的晶圓。而GIGAbatch 380M版本的腔室內(nèi)徑為 300 mm，多可容納 25 片直徑為 200 mm 的晶圓。該系統(tǒng)的基礎(chǔ)版本是一款落地式設(shè)備，帶有噴涂面板、可調(diào)節(jié)支腳和腳輪。它配有一個(gè)輸出功率為 1000 W 的發(fā)生器、兩個(gè) MFC 氣體管道、晶圓溫度監(jiān)控和一個(gè)終點(diǎn)偵測(cè)系統(tǒng)。此外，它還包括一個(gè)固定晶圓和基板的裝置，可安裝在腔體室內(nèi)門上，并可根據(jù)客戶具體要求進(jìn)行設(shè)計(jì)。也可按客戶需求提供：過(guò)程壓力 (DSC) 的主動(dòng)控制裝置、法拉第籠、額外的氣體管道、不同尺寸基板或晶圓的裝載裝置、陶瓷工藝室、使用含氟工藝氣體運(yùn)行的特殊密封件。