VS系列 真空泵

1. VS系列是旋片式（單）的油旋轉(zhuǎn)真空泵。

VS系列是真空泵中的一款旋片式（單）油旋轉(zhuǎn)真空泵，以其可靠的性能和高效的排氣能力而廣受歡迎。這款泵的核心結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)精巧，采用了先進(jìn)的旋片技術(shù)，確保了在抽氣過程中提供穩(wěn)定和持續(xù)的真空環(huán)境。為了滿足更高的排氣需求，VS系列泵可以靈活地與羅茨泵進(jìn)行組合，這樣一來，不僅可以顯著提升排氣量，還能在短時(shí)間內(nèi)達(dá)到所需的高真空狀態(tài)。這種高效的組合解決方案非常適合對(duì)快速抽氣和高真空要求的工業(yè)應(yīng)用，如半導(dǎo)體制造、物理氣相沉積、化學(xué)氣相沉積等。

在設(shè)計(jì)方面，VS系列泵內(nèi)置了高效的油霧過濾器和回油裝置。油霧過濾器能夠有效去除排氣過程中的油霧，防止油霧隨排氣排放到環(huán)境中，這一措施不僅有助于保護(hù)操作環(huán)境的清潔，也避免了潛在的設(shè)備污染。而回油裝置則通過對(duì)泵內(nèi)部油液的回收，確保了油的循環(huán)使用，這不僅提升了泵的工作效率，還延長(zhǎng)了其使用壽命。這些設(shè)計(jì)顯著提高了泵的排氣性能，確保其長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，降低了維護(hù)頻率與運(yùn)營(yíng)成本。

值得一提的是，VS系列泵在維護(hù)便利性方面同樣表現(xiàn)出色。在設(shè)計(jì)過程中，工程師們充分考慮到用戶的操作體驗(yàn)，使得油和濾芯的更換過程變得極為簡(jiǎn)單和高效。用戶無需耗費(fèi)大量時(shí)間和精力即可完成這些維護(hù)工作，這種人性化的設(shè)計(jì)極大地優(yōu)化了設(shè)備的日常管理，減少了停機(jī)時(shí)間，使得整個(gè)系統(tǒng)的可用性得到了顯著提升。

2. 特點(diǎn)

水冷和強(qiáng)制給油。

在高負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)下也能滿足缸體的供油，排氣性能比壓差給油更穩(wěn)定。使用

壓油防吸系統(tǒng)，泵停轉(zhuǎn)時(shí)，可以防止油從油箱倒吸至吸氣端。

3. 維保便捷性

除使用了可時(shí)刻監(jiān)測(cè)油狀態(tài)的大型油位計(jì)外，還設(shè)計(jì)了油箱清洗、更換排氣閥等時(shí)的便捷蓋。 

4. 用途

光學(xué)膜蒸鍍?cè)O(shè)備

反射器蒸鍍?cè)O(shè)備

裝飾用蒸鍍?cè)O(shè)備

薄膜卷繞蒸鍍?cè)O(shè)備

內(nèi)嵌濺射設(shè)備

烘烤爐 /熱處理爐

凍干設(shè)備

檢漏設(shè)備