計測熱銷 EBARA荏原高負(fù)載工藝用干式真空泵EV-M302N
參考價 | ¥ 1758 |
訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 愛安德商貿(mào)(深圳)有限公司
- 品牌 EBARA/荏原
- 型號 計測熱銷
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/8/13 18:00:55
- 訪問次數(shù) 223
產(chǎn)品標(biāo)簽
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光學(xué)設(shè)備、電子計測儀器、科學(xué)儀器、機械加工設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、物流保管用品、化學(xué)用品、FA自動化
泵軸位置 | 臥式 | 抽氣量 | 見參數(shù) |
---|---|---|---|
輸送介質(zhì) | 其他 | 外形尺寸 | 見參數(shù) |
葉輪數(shù)目 | 單級 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,能源,電子,電氣,綜合 |
最大工作壓強 | 見參數(shù) |
EBARA荏原高負(fù)載工藝用干式真空泵EV-M302N
EBARA荏原高負(fù)載工藝用干式真空泵EV-M302N
產(chǎn)品介紹
EBARA 高溫技術(shù)支持在半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池制造過程中產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物的高負(fù)荷工藝。由于其高節(jié)能性能,能夠支持高負(fù)載流程,同時節(jié)省能源。另有排量110,000L/min的大排量型號,標(biāo)配耐腐蝕材料。憑借針對工藝條件量身定制的豐富產(chǎn)品陣容,我們可以應(yīng)對各種高負(fù)載工藝。
EV-M型
干式真空泵非常適合節(jié)能和高負(fù)載工藝
兼容高負(fù)載流程
兼容高溫控制
節(jié)能
耐腐食性材料標(biāo)準(zhǔn)采用
耐腐蝕性改進選項
不同頻率 (50/60Hz) 下具有相同的性能
無油
提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL 兼容
模型 | 單元 | 電動車M20N | EV-M102N | EV-M202N | EV-M302N | EV-M502N | EV-M505SF | EV-M802N | EV-M805SF | EV-M1205SF | |
抽速 | 升/分鐘 | 1,800 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 5萬 | 5萬 | 8萬 | 8萬 | 110,000 | |
極限壓力 | 出色地 | 5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | |
連接直徑 | 進氣口 | 西北40 | 感光度100 | 感光度100 | 感光度100 | ISO160 | ISO160 | ISO200 | ISO200 | ISO200 | |
排氣口 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | 西北40 | ||
極限壓力下的近似功率值 | 千瓦 | 1.2 | 1.8 | 1.9 | 2.3 | 2.1 | 3.9 | 2.8 | 4.6 | 5.3 | |
冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 3~8 | 3~8 | 3.5~8 | 4~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 | 5~8 |
溫度 | ℃ | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | |
氮氣 | 流量 | 帕•立方米/秒 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 26~31 | 28~33 | 228 | 28~33 | 228 | 34~35 |
電源相位/電壓/頻率 | 200V型號 | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | 3相/200V/50Hz 3相/200-220V/60Hz | |
400V型號 | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | - | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | 3相/380-400V/50Hz 3相/380-440V/60Hz | ||
電源容量 | 千伏安 | 3.3 | 5.4 | 6 | 6.8 | 7.1 | 15.7 | 8.3 | 19.4 | 14.2 | |
概略質(zhì)量 | 公斤 | 170 | 320 | 360 | 400 | 500 | 580 |