ESA100WN 進口EBARA荏原型大腔體用氣體真空泵
參考價 | ¥ 2658 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 愛安德商貿(深圳)有限公司
- 品牌 EBARA/荏原
- 型號 ESA100WN
- 產(chǎn)地 日本
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/8/13 18:36:47
- 訪問次數(shù) 260
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泵軸位置 | 臥式 | 抽氣量 | 見參數(shù) |
---|---|---|---|
輸送介質 | 其他 | 外形尺寸 | 見參數(shù) |
葉輪數(shù)目 | 單級 | 應用領域 | 石油,能源,電子,電氣,綜合 |
最大工作壓強 | 見參數(shù) |
進口EBARA荏原型大腔體用氣體真空泵
進口EBARA荏原型大腔體用氣體真空泵
可排氣氫氣等輕質氣體的干式真空泵/大室高速排氣
產(chǎn)品介紹
ESA型有適合排出氫氣等輕質氣體的排量1,400L/min~10,000L/min的型號,以及適合排氣的20,000L/min~80,000L/min的排量型號。適合大型腔體的高速排氣。 10,000L/min 或更低型號適用于輕質氣體排氣,設計緊湊,并提供耐腐蝕材料選項,非常適合 MO-CVD 等高流量輕質氣體排氣應用。大型機型在大排量的情況下仍能實現(xiàn)安靜的噪音和低振動,并且還可以選擇有機溶劑排氣,使其成為液晶濺射設備、真空干燥工藝、大型負載鎖等的理想選擇。
荏原株式會社(以下簡稱“荏原”)精機電子公司藤澤工廠今年5月干式真空泵累計出貨量達到15萬臺。這是自1986年第一臺機器發(fā)貨以來,時隔32年取得的成就。
直到 20 世紀 80 年代,油旋轉泵一直是半導體制造工藝中使用的主流真空泵,但隨著對更清潔的真空環(huán)境的需求隨著集成度的提高而增加,我們應用了我們的核心競爭力——旋轉機械技術,我們已經(jīng)將干式真空商業(yè)化。在與氣體接觸的部位不使用密封液的泵。我們的干式真空泵不僅能產(chǎn)生潔凈的真空,而且采用非接觸式密封結構,減少了維護頻率。利用這些功能,應用目前已從半導體和顯示器制造擴展到太陽能電池、LED、鋰離子二次電池和各種分析設備等廣泛的行業(yè)。
根據(jù)中期管理計劃(E-Plan2019)的措施,荏原將在2019年之前啟動生產(chǎn)效率大幅提高的干式真空泵全自動化工廠,深化與海外生產(chǎn)基地的合作,并繼續(xù)響應半導體市場的穩(wěn)定需求和各領域客戶的要求。