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CM300xi型 探針臺

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。








冷熱臺,快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

CM300xi 探針臺可應(yīng)對極其復(fù)雜的環(huán)境帶來的測量挑戰(zhàn),例如在長時(shí)間和多種溫度下在小焊盤上進(jìn)行無人值守的測試。在 EMI 屏蔽、光密和無濕氣的測試環(huán)境中,為各種應(yīng)用實(shí)現(xiàn)了的測量性能。熱管理增強(qiáng)功能和實(shí)驗(yàn)室自動化功能可提高產(chǎn)量并縮短數(shù)據(jù)獲取時(shí)間。對于低溫測試,F(xiàn)ormFactor的開放式IceShield™環(huán)境也可用于CM300xi。

CM300xi 支持接觸式智能™ - 一種可實(shí)現(xiàn)自主半導(dǎo)體測試的技術(shù)。創(chuàng)新的系統(tǒng)設(shè)計(jì)與先進(jìn)的圖像處理技術(shù)強(qiáng)強(qiáng)結(jié)合,提供了一個獨(dú)立于操作員的解決方案,可在任何時(shí)間和溫度下獲得高度可靠的測量數(shù)據(jù)。

CM300xi探針臺與物料處理單元相結(jié)合,將全自動晶圓測試與最高的精度和靈活性相結(jié)合。該系統(tǒng)可以處理多達(dá) 50 個 200 或 300 毫米的晶圓,這些晶圓以 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)晶圓盒的形式提供。

可選的 ReAlign™ 功能提供了獨(dú)立于主 eVue 顯微鏡執(zhí)行“離軸”探頭到焊盤對準(zhǔn)的功能。ReAlign 是不允許從上方觀察焊盤和探針尖的探針卡的理想工具。例如,垂直和金字塔探針卡就是這種情況。ReAlign 硬件包括 2 個額外的攝像頭:向下的“壓板攝像頭”直接集成到 CM300xi 的壓板中,用于觀察墊;向上看的“ChuckView Camera”用于表征探針尖。重新對齊向?qū)г试S使用預(yù)定義的算法輕松快速地設(shè)置不同的探針卡,如金字塔、阿波羅、懸臂等。ReAlign 可以自動管理溫度變化,無需操作員干預(yù)。





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