0.1μm電子半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境中的塵埃粒子檢測(cè)

型    號(hào)

3950-00

粒子測(cè)量

測(cè)試方法

光散射法

粒徑通道

2粒徑（0.1、0.3μm）

額定流量

0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4)

測(cè)量時(shí)間

6秒~99分59秒（1次測(cè)量時(shí)間）

間隔時(shí)間

6秒~99分59秒（測(cè)量周期）

采樣次數(shù)

1~999次 或 連續(xù)測(cè)試

地點(diǎn)設(shè)定

99個(gè)地點(diǎn)

測(cè)量方式

重復(fù)、單次、連續(xù)、計(jì)算

測(cè)量數(shù)據(jù)顯示時(shí)間

1~10秒

測(cè)量數(shù)據(jù)顯示

累計(jì)值∑ 差分值△及柱形圖

最大可測(cè)濃度

10,000,000個(gè)/m3

計(jì)數(shù)效率

50±20%（相對(duì)于最小可測(cè)粒徑附近的PSL粒子）
100±10%（相對(duì)于最小可測(cè)粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子）
（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）

偽 計(jì) 數(shù)

<1個(gè)/35min

粒徑分辨率

15%以下（相對(duì)0.3μm的PSL粒子）
（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）

氣    源

內(nèi)置泵

顯示器

4.3英寸彩色液晶 觸摸屏

通迅功能

本    體

USB（Host用于打印機(jī)、USB存儲(chǔ)；Device用于與PC鏈接）
Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud）

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

媒    體

內(nèi)存

數(shù)量、格式

最大10,000個(gè)、CSV格式

顯示語(yǔ)言

英文、日語(yǔ)

電   源

AC100~240V

使用環(huán)境

本    體

15~35℃、0~85%RH （無(wú)結(jié)露）

外形尺寸

W150 X H163 X D228 mm

重    量

3.4kg