BTF-1400C-II-OP-R 多功能回轉CVD系統(tǒng)

額定功率

10KW

額定電壓

AC 220V

（L+N+PE）2P  63A空開

最高溫度

1400℃

持續(xù)工作溫度

≤1300℃

推薦升溫速率

≤10℃/min

加熱區(qū)數(shù)量

2區(qū)，獨立控溫

加熱區(qū)長度

300+300mm

熱電偶

S型熱電偶

控溫方式

人機界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實現(xiàn)雙控，采用模糊型PID控制

控溫精度

±1℃

加熱元件

硅碳棒

腔體尺寸

中間外徑?100* 端頭外徑?60*長度1400mm

管徑尺寸

Φ60*1400mm

爐膛保溫材料

氧化鋁纖維

表面溫度

≤60℃

金屬密封法蘭

磁流體密封法蘭

控制器

可編程控溫儀表，PID調節(jié)，升、降保溫全自動

無紙記錄

內置存儲記錄運行工藝數(shù)據(jù)，外接USB接口可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù)

三路供氣系統(tǒng)

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

流量計類型

浮子流量計（3個），量程可選

最大壓力

3MPa

接口

Φ6

內外雙拋不銹鋼管

Φ6

壓力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6卡套接頭

真空系統(tǒng)

空氣相對濕度

≤85%

工作電電壓

220V±10% 50~60HZ

功率

1千瓦

抽氣速率

10m³/h

實驗真空度

5.0X10^-1Pa

容油量

1.1L

進氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

轉速

1450rpm

噪音

50dB

真空計

配用規(guī)管

ZJ-52T電阻規(guī)

測量范圍

10 ⁵ ～10 ^-1 Pa

測量路數(shù)

1路

控制范圍

5×10 ³ ～5×10 ^-1 Pa

控制方式

繼電器觸點輸出，負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載

電源

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz

功耗

20W