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LT-400G 過程臭氧分析儀半導(dǎo)體干法清洗設(shè)備專用
- 公司名稱 青島朗科電子科技有限公司
- 品牌 Lontec/青島朗科
- 型號 LT-400G
- 產(chǎn)地 山東省青島市嶗山區(qū)株洲路188號
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2024/8/27 13:22:48
- 訪問次數(shù) 231
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在線式臭氧濃度分析儀，在線式尾氣臭氧濃度分析儀，便攜式臭氧濃度分析儀，手提式臭氧濃度分析儀，空間臭氧濃度傳感器，固定式臭氧檢測儀、臭氧泄漏報警儀，固定式氧氣檢測儀、氧氣泄漏報警儀，水溶臭氧檢測儀，手持式臭氧濃度檢測儀，臭氧催化劑，離子色譜柱，保護柱
過程臭氧分析儀半導(dǎo)體干法清洗設(shè)備專用是一款針對測量高濃度臭氧的氣體檢測模塊，用于檢測工業(yè)過程中的氣態(tài)臭氧濃度。基于紫外分光吸收原理設(shè)計，利用臭氧氣體對特定紫外線吸收力的大小不同，來達到臭氧濃度檢測的目的，采用耐高壓沖擊的檢測腔室結(jié)構(gòu)及恒溫控制設(shè)計，具有精準性和可靠性。
應(yīng)用領(lǐng)域
本儀器主要應(yīng)用于測量半導(dǎo)體晶片制造、水處理和臭氧研究等過程中產(chǎn)生的氣態(tài)臭氧濃度，測量范圍可達到0-400mg/L。
產(chǎn)品特點
①高穩(wěn)定性；
②采用自動控制系統(tǒng)；
③高純度接觸材料設(shè)計；
④溫度、壓力、光源實時補償，在不同環(huán)境下數(shù)據(jù)穩(wěn)定準確；
⑤氣路直線設(shè)計，使得產(chǎn)品安裝更為方便；
⑥密封圈采用全氟醚材質(zhì)，更耐臭氧腐蝕。
過程臭氧分析儀半導(dǎo)體干法清洗設(shè)備專用技術(shù)參數(shù)
量 程：0-400mg/L
精 度：1%F.S
重 復(fù)性：1%F.S
零 漂 移：1%F.S/月
響應(yīng)時間：2秒到95%
氣體流量：0.5-25L/min
壓力范圍：0-115psi
模擬輸出：0-5V
串口通訊：RS485，波特率9600bps
電源輸入：15V
接 口：316L不銹鋼1/4VCR接頭
預(yù)熱時間：15min
工作溫度：5～45℃
標準溫度：0℃
尺 寸：170*55*134.9mm
重 量：1.1k
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